一种环保型铜镀层退镀液及可再生退镀液的退镀工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201310410668.9
IPC分类号：C23F1/18;C23F1/46
申请日期：
2013-09-10
申请人：
上海应用技术学院

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专利名称	一种环保型铜镀层退镀液及可再生退镀液的退镀工艺
申请号	CN201310410668.9	申请日期	2013-09-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-12	公开/公告号	CN103572293A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/10 蚀刻用组合物（C23F 1/44优先）〔4〕 C23F1/14 含水组合物〔4〕 C23F1/16 酸性组合物（C23F 1/42优先）〔4〕 C23F1/18 蚀刻铜或铜合金用的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;1;8;;;C;2;3;F;1;/;4;6查看分类表>
申请人	上海应用技术学院	申请人地址	上海市徐汇区漕宝路120号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海应用技术学院	当前权利人	上海应用技术学院
发明人	张全生;郭东莉;夏骥;王传荟;杨楷楷
代理机构	上海百一领御专利代理事务所（普通合伙）	代理人	陈贞健

摘要

本发明涉及电镀技术领域，尤其涉及一种退镀液及退镀工艺。一种环保型铜镀层退镀液，包括以下退镀液原料制成：焦磷酸钾、酒石酸钾钠、柠檬酸铵、磷酸氢二钠、25%的氨水、30%的双氧水。一种可再生退镀液的退镀工艺，通过电沉积回收退镀液中的，使退镀液中的铜离子减少，从而使退镀液再生，适当补加双氧水达到循环利用目的。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明的退镀液稳定，对镀件基体表面无腐蚀、无有害气体产生、可再生重复利用，使用周期长，可节约成本，符合社会多要求的环保节约的宗旨。

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