一种用于真空环境下的位置检测装置

1.一种用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，包括导向组件、对射光纤和信号传送组件；所述导向组件可拆卸安装在真空室内，在所述导向组件上开设有供移动产品通过的导向通道，该导向通道顶部敞口；所述信号传送组件密封安装在真空室侧壁，其一端位于真空室内，另一端位于真空室外，所述信号传送组件上设有供所述对射光纤穿过的通道；
所述对射光纤的一端对称安装在所述导向通道的两侧，另一端穿过所述通道、并穿出真空室外。
2.根据权利要求1所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述信号传送组件包括密封件，该密封件包括柱状件和固定件，所述固定件沿所述柱状件外侧周向设置，所述通道沿所述柱状件轴向设置，所述固定件固定安装在真空室侧壁外侧。
3.根据权利要求2所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述固定件上、且靠近真空室的一侧设有密封槽，在该密封槽内设有第一密封圈。
4.根据权利要求2所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述通道内安装有光纤套管，所述对射光纤穿过所述光纤套管、并穿出真空室外。
5.根据权利要求4所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述通道内具有一隔断部，该隔断部将所述通道分割为靠近真空室的第一通道以及远离真空室的第二通道，在所述隔断部上开设有分别与所述第一通道和第二通道连通的第一通孔，所述光纤套管包括第一光纤套管和第二光纤套管，所述第一光纤套管安装在所述第一通道内，所述第二光纤套管安装在所述第二通道内。
6.根据权利要求5所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述第二通道内设有光纤连接器，在所述隔断部与光纤连接器之间、所述光纤连接器与所述第二光纤套管之间均设有第二密封圈。
7.根据权利要求5所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述信号传送组件还包括第一限位件，该第一限位件限位在所述第一光纤套管的内端、且与所述密封件可拆卸连接。
8.根据权利要求5所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述信号传送组件还包括第二限位件，该第二限位件限位在所述第二光纤套管的外端、且与所述密封件可拆卸连接。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的用于真空环境下的位置检测装置，其特征在于，所述导向组件上、且位于所述导向通道的一端设有喇叭状导向部。

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