托盘保持装置

1.一种托盘保持装置，其特征在于，具有：
保持部，对多个重叠的托盘的层叠体进行保持，上述托盘具有：能在内侧容纳被容纳物的托盘主体；和，从上述托盘主体的上端边缘向周向延伸的凸缘部；上述保持部具有一对臂，上述臂具有可支承上述凸缘部的支承用爪，在第一位置与第二位置之间被自由转动地支承，上述第一位置是上述支承用爪从下方支承上述凸缘部的位置，上述第二位置是向上述层叠体的侧方离开并且上述支承用爪离开上述凸缘部的位置；
两个分离部，分别具有分离用杆、分离用爪、分离用汽缸和驱动装置，上述分离用爪设置在上述分离用杆的顶端，上述分离用汽缸以使得上述分离用杆能够进退运动、并由上述臂支承的方式容纳上述分离用杆，上述驱动装置在上述臂中夹着转动轴、与上述支承用爪的相反侧连接，并在上述第一位置与上述第二位置之间驱动上述臂；
升降部，通过在位于上述层叠体下方的规定位置和上述层叠体之间升降而能够进行第一动作和第二动作，上述第一动作是向上述规定位置移动被分离的托盘，上述第二动作是向上述层叠体移动处于上述规定位置的托盘；以及
控制部，控制上述分离部和上述升降部的动作；
在上述臂处于上述第一位置的状态时，上述分离用爪可以容纳在上述支承用爪所支承的托盘的凸缘部与位于该托盘下方的托盘的凸缘部之间，可以相对于上述支承用爪向垂直下方直线移动；
上述支承用爪和上述分离用爪从上述第二位置移动到上述第一位置而被容纳于上凸缘部和下凸缘部之间，上述层叠体距离上述升降部具有规定距离，并且上述层叠体设置成被上述支承用爪支承的状态，在上述状态下上述分离用爪向垂直下方直线移动而推下上述下凸缘部，从而上述下凸缘部落到上述升降部上。
2.如权利要求1所述的托盘保持装置，其特征在于，
上述驱动装置配置在上述臂的下方。

托盘保持装置 \n技术领域\n[0001] 本发明涉及供应保持好的托盘或者保持回收后的托盘的托盘保持装置。 背景技术\n[0002] 以前，例如液晶面板等电子部件利用安装装置来安装各种部件。例如，安装装置在液晶面板上依次安装半导体芯片和挠性基板。 \n[0003] 这种安装装置具有：供应液晶面板的单元；向安装半导体芯片的单元供应半导体芯片的单元；在液晶面板上安装半导体芯片的单元；向安装挠性基板的单元供应挠性基板的单元；在已安装了半导体芯片的液晶面板上安装挠性基板的单元；回收已实施了上述各种安装操作的液晶面板的单元等。依次向安装半导体芯片的单元、安装挠性基板的单元、回收单元送去液晶面板，实施各种操作。 \n[0004] 在各单元中，在多个组里每个的托盘中容纳并保持着在该单元中所使用的部件。\n例如，在供应液晶面板的单元中，在多个组里每个的托盘中容纳着还未实施处理的液晶面板。然后，从托盘内取出液晶面板后实施操作。容纳了各种部件的托盘一变空，就准备容纳着部件的另外的托盘。 \n[0005] 另一方面，已经提出了一种在保持多个托盘的同时依次供应托盘的装置。这种托盘供应装置中所供应的托盘以多个重叠的状态配置。装置通过支承重叠着的托盘中的最下层的托盘，来保持重叠了多个的托盘，同时，在供应托盘时，使最下层的托盘落下等供应该托盘。 \n[0006] 但是，托盘是周缘部(周缘或其边)立起的截面为凹形的形状，所以，考虑到位于上面的托盘嵌在了位于下面的托盘内。考虑到在这样的情况下，不能够从其上面的托盘分离最下层的托盘，所以就产生了不供应最下层的托盘的状态。 \n[0007] 因此，在这种装置中具有分离最下层的托盘的分离部。这种分离部具有爪状的分离部件。该分离部件在钩住最下层的托盘的同时向下方进行分离(例如，参照专利文献1)。 [0008] 【专利文献1】日本特开2005—239298\n[0009] 但是，专利文献1中公开的装置是使最下层的托盘向下方落下的结构。所以，考虑到若使用专利文献1中公开的装置来供应容纳着电子部件等部件的托盘，则伴随着托盘的落下，被容纳的部件就散乱了。不希望托盘内的部件散乱 \n[0010] 此外，在专利文献1中公开的装置的结构中，由于是使最下层的托盘向下方落下的结构，因此，没有公开在期望再次保持并容纳已变空的托盘的情况下，也实施该处理的功能。 \n[0011] 从而，本发明的目的在于提供一种具有能够供应装有部件的托盘，同时能够抑制托盘的供应失误，并且能够用相同结构回收托盘的功能的托盘保持装置。 [0012] 本发明的托盘保持装置具有：保持部，对多个重叠的托盘的层叠体进行保持，上述托盘具有：能在内侧容纳被容纳物的托盘主体；和，从上述托盘主体的上端边缘向周向延伸的凸缘部；上述保持部具有一对臂，上述臂具有可支承上述凸缘部的支承用爪，在第一位置与第二位置之间被自由转动地支承，上述第一位置是上述支承用爪从下方支承上述凸缘部的位置，上述第二位置是向上述层叠体的侧方离开并且上述支承用爪离开上述凸缘部的位置；两个分离部，分别具有分离用杆、分离用爪、分离用汽缸和驱动装置，上述分离用爪设置在上述分离用杆的顶端，上述分离用汽缸以使得上述分离用杆能够进退运动、并由上述臂支承的方式容纳上述分离用杆，上述驱动装置在上述臂中夹着转动轴、与上述支承用爪的相反侧连接，并在上述第一位置与上述第二位置之间驱动上述臂；升降部，通过在位于上述层叠体下方的规定位置和上述层叠体之间升降而能够进行第一动作和第二动作，上述第一动作是向上述规定位置移动被分离的托盘，上述第二动作是向上述层叠体移动处于上述规定位置的托盘；以及控制部，控制上述分离部和上述升降部的动作；在上述臂处于上述第一位置的状态时，上述分离用爪可以容纳在上述支承用爪所支承的托盘的凸缘部与位于该托盘下方的托盘的凸缘部之间，可以相对于上述支承用爪向垂直下方直线移动；上述支承用爪和上述分离用爪从上述第二位置移动到上述第一位置而被容纳于上凸缘部和下凸缘部之间，上述层叠体距离上述升降部具有规定距离，并且上述层叠体设置成被上述支承用爪支承的状态，在上述状态下上述分离用爪向垂直下方直线移动而推下上述下凸缘部，从而上述下凸缘部落到上述升降部上。 \n[0013] 根据该结构，在供应托盘时利用升降部来进行供应。这样，即使在托盘中容纳着部件，也能安全地供应该托盘。此外，利用分离机构抑制所谓的不供应托盘的托盘供应失误的发生。此外，能够在利用升降部引导托盘到层叠体的同时，将该托盘组合到层叠体中进行保持。 \n[0014] 根据该结构，不使用具有导气管的吸附部件等作为分离机构。所以，没有因为使用该吸附部件而引起的配管的配置问题。 \n[0015] 在本发明的优选方式中，上述驱动装置配置在上述臂的下方。 [0016] 发明效果 \n[0017] 根据本发明，能够提供一种具有能够供应装有部件的托盘，同时能够抑制托盘的供应失误，并且能够用相同结构回收托盘的功能的托盘保持装置。 \n附图说明\n[0018] 图1是示出使用本发明的一个实施方式涉及的托盘供应装置的安装装置的概略图。 \n[0019] 图2是概略地示出图1所示的液晶面板供应单元的立体图。 \n[0020] 图3是切开一部分示出从图2所示的F3方向看的液晶面板供应单元的主视图。 [0021] 图4是放大示出图3所示的一个臂的立体图。 \n[0022] 图5是切开一部分示出图3所示的升降装置的升降用杆延伸到了位于最下层的托盘的位置上的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0023] 图6是切开一部分示出升降用杆移动到了图5所示的臂的支承用爪离开位于最下层的托盘的位置上的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0024] 图7是切开一部分示出图6所示的转动用杆转动到了第二位置上的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0025] 图8是切开一部分示出图7所示的升降用杆向下方移动后的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0026] 图9是切开一部分示出图8所示的臂移动到了第一位置上的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0027] 图10是切开一部分示出位于图9所示的最下层的托盘的紧上方的托盘的凸缘部下降到与支承用爪抵接的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0028] 图11是切开一部分示出利用图10所示的分离用爪的动作分离了最下层的托盘的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0029] 图12是切开一部分示出图11所示的分离后的托盘向下方移动到了配置在传送带上的状态的托盘供应装置的主视图。 \n[0030] 图13是切开一部分示出变空后的托盘移动到了托盘回收装置的下方的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0031] 图14是切开一部分示出图13所示的托盘向上方移动到了与层叠体抵接的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0032] 图15是切开一部分示出图14所示的臂移动到了第二位置上的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0033] 图16是切开一部分示出图15所示的层叠体向上方移动后的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0034] 图17是切开一部分示出图16所示的臂移动到了第一位置上的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0035] 图18是切开一部分示出层叠体向下方移动，使得图1所示的支承用爪支承层叠体的状态的托盘回收装置的主视图。 \n[0036] 标记说明 \n[0037] 22...托盘主体、23...凸缘部、80...托盘供应装置(托盘保持部)、82...臂(保持部)、83...分离机构(分离部)、84...升降装置(升降部)、87...支承用爪、91...转动装置(驱动装置)、94...分离用爪、104...部位(规定位置)、110...控制装置(控制部)、P1...第一位置、P2...第二位置。 \n具体实施方式\n[0038] 使用图1～图18说明本发明的一个实施方式涉及的托盘保持装置。本实施方式的托盘保持装置例如使用在图1所示的安装装置10中。图1是示出安装装置10的概略图。\n安装装置10在例如作为电子部件的一例的液晶面板21中安装各种电子部件。 [0039] 如图1所示，安装装置10具有：供应液晶面板21的液晶面板供应单元20；清洗液晶面板21的清洗单元30；在液晶面板21上安装半导体芯片(以后简称IC)41的IC安装单元40；缓冲单元50；在液晶面板21上安装挠性基板(以后简称FPC)61的FPC安装单元\n60；向IC安装单元40供应IC41的IC供应单元40’；向FPC安装单元60供应FPC61的FPC供应单元60’；回收已实施了上述各处理的液晶面板21的液晶面板回收单元70。\n[0040] 液晶面板供应单元20配置在图中左侧。在图中，从液晶面板供应单元20开始向右依次配置清洗单元30、IC安装单元40、缓冲单元50、FPC安装单元60和液晶面板回收单元70。在IC安装单元40的一侧(图中上侧)配置着IC供应单元40’。在FPC安装单元\n60的一侧(图中上侧)配置着FPC供应单元60’。 \n[0041] 清洗单元30清洗从液晶面板供应单元20供应来的液晶面板21。IC安装单元40在由清洗单元30清洗后的液晶面板21上安装从IC供应单元40’供应来的IC41。缓冲单元50使在IC安装单元40中安装了IC41的液晶面板21停留，直到后述的FPC安装单元60中的加工点空出来。然后，FPC安装单元60的加工点一空出来，缓冲单元50就依次向FPC安装单元60投入液晶面板21。FPC安装单元60在通过了缓冲单元50的液晶面板21上，安装从FPC供应单元60’供应的FPC61。液晶面板回收单元70回收已安装了FPC61的液晶面板21。 \n[0042] 各单元20～70中具有未图示的机器人手臂等移动装置。利用该移动装置，液晶面板21在相邻的单元间移动。 \n[0043] 图2是概略地示出液晶面板供应单元20的立体图。如图2所示，液晶面板供应单元20具有基部130、托盘供应装置80、托盘回收装置140、传送带100、控制装置110(图3中示出)、气泵120(图3中示出)。 \n[0044] 利用托盘供应装置80供应已容纳了部件的托盘26，然后取出该托盘26内的部件。\n然后，利用托盘回收装置140回收已变空的托盘26。跨托盘供应装置80和托盘回收装置\n140之间设置着传送带100，利用传送带100，托盘26从托盘供应装置80向托盘回收装置\n140移动。 \n[0045] 再有，最好IC供应单元40’、FPC供应单元60’和液晶面板回收单元70的结构是与液晶面板供应单元20大致相同的结构。所以，以液晶面板供应单元20为代表说明各单元20、70、40’和60’的结构。 \n[0046] 如图1、2所示，托盘供应装置80保持着层叠了多个托盘26的层叠体(集 体)25。\n在托盘供应装置80所保持的托盘26中容纳着多个液晶面板21。 \n[0047] 图3是切开一部分示出从图2所示的F3方向看的液晶面板供应单元20的剖面图。\n图3切开一部分示出了从正面看托盘供应装置80的状态。 \n[0048] 具体地说明托盘26的形状，如图2所示，托盘26具有托盘主体22和凸缘部23。\n托盘主体22是板状。在托盘主体22中形成了多个容纳凹部24。 \n[0049] 通过将托盘主体22切成缺口为截面凹形而形成了容纳凹部24。在容纳凹部 24中各容纳着一个液晶面板21。如图1所示，在IC安装单元40中，在容纳凹部24中容纳IC41。 \n[0050] 在IC供应单元40’中使用的托盘26中，在容纳凹部24内容纳着辅助托盘(未图示)。辅助托盘具有多个槽，在该槽内容纳着IC41。在FPC供应单元60’中使用的托盘26中未形成容纳凹部24。FPC61被容纳在辅助托盘(未图示)中，将该辅助托盘保持在托盘\n26上。在液晶面板回收单元70中，在容纳凹部24中容纳已回收的液晶面板21。 [0051] 如图2所示，与托盘主体22的周缘一体地形成着凸缘部23，并向托盘主体22的周向外侧延伸着。在凸缘部23的上表面和托盘主体22的上表面之间规定有规定间隙。换言之，托盘26是从周缘向内侧往下挖一截，并且形成多个容纳凹部24的结构。 [0052] 由于托盘26是上述结构，因此，如图3所示，若层叠托盘26，托盘26的下表面\n26a(托盘主体22的下表面)则嵌入到被位于紧下方的托盘26的凸缘部23所包围的范围中。这样地，通过层叠多个托盘26而形成了层叠体25。 \n[0053] 如图2、3所示，在基部130上置着传送带100、托盘供应装置80和托盘回收装置\n140。 \n[0054] 如图3所示，跨后述的托盘供应装置80和托盘回收装置140之间设置着传送带\n100。传送带100具有一对导轨101。各导轨101具有导轨主体102和皮带103。 [0055] 如图2所示，导轨主体102是壁状，相互平行排列，从托盘供应装置80延伸到托盘回收装置140。各导轨101配置在从基部130的外缘131(沿着各导轨101延伸的边缘)开始大致相同距离的位置上。 \n[0056] 皮带103配置在导轨主体102的上端。在导轨主体102中容纳着未图示的带移动机构。利用带移动机构，带103在导轨主体102的上端移动。 \n[0057] 传送带100将由托盘供应装置80供应的托盘26移动到供应液晶面板21的位置(利用机器人手臂等移动装置，从托盘26取出液晶面板21的位置)。然后，如果没有了托盘26内的液晶面板21，就移动该托盘26直到托盘回收装置140。 \n[0058] 托盘供应装置80是本发明的托盘保持装置的一例。如图2、3所示，托盘供应装置\n80具有一对臂82、导向部件150、分离机构83和升降装置84。 \n[0059] 如图2所示，导向部件150是截面L字形的导轨部件。导向部件150固定在基部\n130上，保持着层叠体25的4个角。再有，导向部件150不妨碍层叠体25 的上下移动，所以，考虑到导向部件150与层叠体25之间不产生大的摩擦。导向部件150是本发明中所述的保持部的一例。再有，图3中省略了导向部件150。 \n[0060] 图4是放大示出一个臂82的立体图。如图3、4所示，臂82为大致L字形。如图3所示，一个臂82自由转动地被支承在一个导轨101的导轨主体102上。另一个臂82自由转动地被支承在另一个导轨101的导轨主体102上。各臂82配置在相互之间相对的位置上。 \n[0061] 各臂82保持着托盘26的层叠体25。关于这点具体地说明。各臂82在保持托盘\n26的层叠体25的第一位置P1和不保持层叠体25的第二位置P2之间自由转动。 [0062] 臂82自由转动地支承在导轨101的导轨主体102的外表面上。具体地说，在从传送带100的内侧向着外侧的方向和从外侧向着内侧的方向(横切传送带100延伸的方向的方向)上自由转动地被支承。 \n[0063] 臂82在处于第一位置P1的状态中，具有大致上下方向延伸的臂主体86和向着传送带100的内侧突出而支承层叠体25的支承用爪87。利用转动支承部88，在导轨101的导轨主体102上，绕转动轴88a自由转动地支承着臂主体86的下端。从臂主体86的上端突出地形成有支承用爪87。 \n[0064] 在臂82处于第一位置P1的状态中，如图3所示，相互之间相对的臂82的支承用爪87，从下面支承位于层叠体25的最下层的托盘26的凸缘部23。此外，如图中双点划线所示，通过臂82转动到第二位置P2，支承用爪87不支承托盘26的凸缘部23。 [0065] 再有，臂82的第一、第二位置P1、P2相互之间可以相同，因此，用双点划线代表示出图中一个臂(图中右侧)的臂82中的第一、第二位置P1、P2。臂82是本发明中所述的保持部的一例。 \n[0066] 分离机构83是本发明中所述的分离部的一例。分离机构83具有从层叠体25分离位于最下层的托盘26的分离装置90和使臂82转动的转动装置91。分离装置90固定在臂82的臂主体86上。图4示出了从臂82分离了分离装置90的状态。 \n[0067] 如图4所示，分离装置90具有分离用汽缸92、分离用杆93和分离用爪94。分离用汽缸92固定在臂主体86上。在分离用汽缸92内容纳着分离用杆93。在臂82处于第一位置P1的状态中，分离用杆93能够相对于分离用汽缸92上下移动。 \n[0068] 在分离用杆93的顶端设置着分离用爪94。分离用爪94例如位于臂82的支 承用爪87的紧下方。如图3所示，分离用汽缸92经由配管95与例如气泵120连接。作为工作流体的一例，经由配管95向分离用汽缸92供应空气。利用从气泵120供应的空气，分离用杆相对于分离用汽缸92进退运动。这样分离用爪94移动。 \n[0069] 转动装置91是本发明中所述的驱动装置的一例。如图4所示，转动装置91具有转动用汽缸97和转动用杆98。转动用汽缸97固定在基部130的侧面132上。在转动用汽缸97内容纳有转动用杆98，该转动用杆98能在上下方向移动。转动用杆98与臂82连接。 \n[0070] 关于这点具体地说明。在臂82中，夹持转动轴88a、与支承用爪87相反侧的端部\n82a，在臂82处于第一位置P1的状态中，向基部130的外侧突出。即，端部82a相对于臂主体86大致弯曲90度。然后，端部82a延伸到转动装置91的大致上方。转动用杆98自由转动地与臂82的端部82a连接着。 \n[0071] 如图3所示，转动用汽缸97经由配管99与气泵120连接。经由配管99向转动用汽缸97供应空气。利用由气泵120供应的空气，转动用杆98上下方向移动。 [0072] 通过转动用杆98上下方向移动，臂82就绕转动轴88a转动。这样，臂82就能够在第一位置P1和第二位置P2之间转动。 \n[0073] 在转动装置91上设置着检测臂82的位置的传感器89。传感器89例如是限位传感器。例如在转动用汽缸97上设置着一对传感器89。各传感器89上下方向相互离开一段距离地配置。各传感器89检测转动用杆98处于第一、第二位置P1、P2的状态。再有，传感器89不限定于限位传感器。例如，也可以是设置在转动支承部88上的回转式编码器或电位器等，检测臂82的旋转或者检测臂82的位置。主要最好能够检测臂82的位置。 [0074] 如图2所示，在各臂82间配置着升降装置84。如图3所示，升降装置84具有壳\n84a、电动机84b、升降用杆84c、板84d和传递机构84e。壳84a固定在基部130上。 [0075] 在壳84a内容纳着电动机84b。图中用虚线示出电动机84b。在壳84a内容纳着升降用杆84c的一部分，相对于壳84a可上下方向移动地被支承。用虚线示出升降用杆84c容纳在壳84a内的部分。 \n[0076] 在升降用杆84c的顶端设置着板84d。在壳84a内容纳着传递机构84e。传递机构84e具有例如未图示的多个齿轮，具有将电动机84b的旋转变更为升降用杆84c的上下移动的功能。图中用虚线示出传递机构84e。\n[0077] 控制装置110是本发明中所述的控制部。如图3所示，控制装置110经由配线\n100a、120a、84f、89a，与传送带100、气泵120、升降装置84和传感器89电连接。 [0078] 控制装置110控制传送带100的动作。此外，控制装置110控制气泵120的气体的供应。此外，控制装置110控制升降装置84的电动机84b的驱动。控制装置110管理着电动机84b的旋转，所以，由控制装置110掌握着升降用杆84c的位置。 \n[0079] 再有，也可以另外使用传感器等来检测升降用杆84c的位置。控制装置110基于由传感器89检测到的臂82的位置和升降用杆84c的位置，进行上述各控制。 [0080] 再有，图中示出了与配置在图3中左侧的分离装置90和转动装置91及传感器89连接的配线100a、120a、84f、89a和配管95、99，为了说明图中用双点划线示出的臂82的动作，省略了与配置在图中右侧的分离装置90和转动装置91及传感器89连接的配线和配管。但是，与配置在图中右侧的分离装置90和转动装置91及传感器89也同样地连接着配线和配管。 \n[0081] 最好托盘回收装置140是与托盘供应装置80大致相同的结构，因此省略说明。 [0082] 接着说明液晶面板供应单元20的动作。首先，移动已容纳了液晶面板21的托盘\n26到机器人手臂等移动装置的作业位置。 \n[0083] 因此，首先托盘供应装置80供应托盘26。在托盘供应装置80中，首先分离位于层叠体25的最下层的托盘26。图5示出了升降装置84的升降用杆84c延伸到了位于最下层的托盘26的位置的状态。如图5所示，控制装置110为了分离位于最下层的托盘26，将升降用杆84c移动到板84d与位于最下层的托盘26的下表面26a抵接的位置。 [0084] 图6示出了升降用杆84c移动到了臂82的支承用爪87离开位于最下层的托盘26的位置的状态。如图6所示，控制装置110举起层叠体25到支承用爪87不与最下层的托盘26的凸缘部23抵接的位置，使支承用爪87能够从第一位置P1转动到第二位置P2。由于臂82在第一、第二位置P1、P2间转动，因此，支承用爪87顶端的移动轨迹成为圆弧形。\n所以，控制装置110举起层叠体25到最下层的托盘26的凸缘部23脱离支承用爪87的移动轨迹的位置上。 \n[0085] 层叠体25如果被举起到脱离支承用爪87的移动轨迹的位置上，就如图7所示，控制装置110经由气泵120驱动转动用杆98。通过转动用杆98向下方移动， 臂82的端部\n82a向下方移动。因此，如图所示，臂82转动到第二位置P2。 \n[0086] 利用传感器89检测臂82的位置。控制装置110基于传感器89的检测结果，掌握臂82的位置，同时控制气泵120的驱动。 \n[0087] 臂82如果转动到第二位置P2，控制装置110就通过驱动电动机84b，向下方移动升降用杆84c，从而向下方移动层叠体25。这时，如图8所示，在臂82返回到第一位置P1时，层叠体25被移动到在最下层的托盘26的凸缘部23与配置在该托盘26的紧上方的托盘26的凸缘部23之间预定的间隙L内容纳臂82的支承用爪87和分离装置90的分离用爪94的位置上。 \n[0088] 关于这点具体地说明。如上所述，在层叠的托盘26的凸缘部23间规定着预定的间隙L。支承用爪87和分离用爪94具有能容纳在该间隙L内的厚度。此外，考虑支承用爪\n87和分离用爪94的厚度为，该支承用爪87和分离用爪94在从第二位置P2返回到第一位置P1时的移动轨迹不干涉凸缘部23。所以，设定支承用爪87和分离用爪94的厚度的合计L1小于间隙L。 \n[0089] 如图8所示，层叠体25如果下降到支承用爪87和分离用爪94能容纳在最下层的托盘26的凸缘部23与位于它上面的托盘26的凸缘部23之间的间隙L中的位置上，控制装置110就如图9所示，经由气泵120驱动转动用杆98，使臂82返回到第一位置P1。 [0090] 如图9所示，在臂82从第二位置P2返回到了第一位置P1的状态中，在支承用爪\n87与位于上方的托盘26的凸缘部23之间规定着少许间隙。所以，在该状态下，层叠体25还被升降装置84的升降用杆84c支承着。 \n[0091] 如果臂82返回到第一位置P1，控制装置110就驱动电动机84b，向下方移动升降用杆84c。如图10所示，如果升降用杆84c下降，位于最下层的托盘26的紧上方的托盘26的凸缘部23就与支承用爪87抵接。 \n[0092] 如果升降用杆84c进一步向下方移动时，仅层叠体25中的最下层的托盘26上方的托盘26被臂(支承用爪87)支承，仅最下层的托盘26被板84d支承。所以，随着升降用杆84c向下方移动，只有由板84d支承的托盘26向下方移动。 \n[0093] 但是，托盘26的托盘主体22的下端嵌入在位于下方的托盘26的内侧。所以，即使升降用杆84c向下方移动，最下层的托盘26有时也吸附在位于上方的托盘26上。 [0094] 因此，如果升降用杆84c向下方移动规定距离，具体地说，如果最下层的托 盘26移动到离开其上方的托盘26的预定位置，控制装置110就经由气泵120，向下方移动分离用杆93。再有，预定位置是在最下层的托盘26未吸附在其上方的托盘26上的情况下，最下层的托盘26离开其上方的托盘26的位置。 \n[0095] 这样，分离用爪94相对于支承用爪87向下方移动。其结果，利用分离用爪94，向下方仅移动最下层的托盘26。 \n[0096] 如图11所示，利用这样的分离用爪94的动作，最下层的托盘26从其上方的托盘\n26分离。分离后的托盘26落到板84d上。再有，这时，由于即将落下之前的分离后的托盘\n26和板84d之间的距离小，因此，该落下对托盘26的影响小。 \n[0097] 之后，通过升降用杆84c向下方移动，分离后的托盘26也向下方移动。 [0098] 如图12所示，通过升降用杆84c进一步向下方移动，将分离后的托盘26配置在传送带100上。分离后的托盘26如果被放置到传送带100上，控制装置110就驱动传送带\n100。 \n[0099] 再有，也可以利用例如升降用杆84c的位置来判断托盘26是否配置在了传送带\n100上。该情况下，可以预先求出托盘26配置在传送带100上时的升降用杆84c的位置。 [0100] 在传送带100中，位于托盘供应装置80的下方的部位104(图2中示出)是在本发明中所述的规定位置的一例。 \n[0101] 分离后的托盘26如果移动到移动装置的作业位置(例如图2中示出的位置)，就停止传送带100的驱动。利用未图示的传感器等，判断托盘26是否到达了该作业位置。在该位置中取出托盘26内的液晶面板21。 \n[0102] 如果全部取出托盘26内的液晶面板21，控制装置110就驱动传送带100，移动已变空的托盘26到托盘回收装置140。如上所述，托盘回收装置140的结构与托盘供应装置\n80大致相同。 \n[0103] 如图13所示，变空后的托盘26如果被移动到托盘回收装置140的下方，控制装置\n110就停止传送带100的动作。在传送带100中，位于托盘回收装置140的下方的部位105是在本发明中所述的规定位置的一个例子。 \n[0104] 接着，控制装置110经由托盘回收装置140的升降装置84的电动机84b，向上方移动升降用杆84c。这样，利用升降用杆84c，向上方移动已变空的托盘26。托盘回收装置\n140保持着相互层叠了已变空的托盘26的层叠体25。 \n[0105] 如图14所示，利用升降用杆84c向上方移动的托盘26，被移动到与层叠体 25抵接。另外，升降用杆84c向上方移动层叠体25，直到层叠体25的最下层的托盘26的凸缘部\n23与支承用爪87离开，同时支承用爪87的移动轨迹脱离凸缘部23的位置上。 [0106] 如图15所示，层叠体25如果被移动到支承用爪87的移动轨迹脱离凸缘部23的位置上，控制装置110就经由气泵120驱动转动用杆98，使臂82转动到第二位置P2。 [0107] 如果将臂82转动到第二位置P2，回收后的托盘26和层叠体25就被板84d支承。\n这样，回收后的托盘26被重叠在层叠体25上，成为层叠体25的一部分。 [0108] 如图16所示，如果将臂82转动到第二位置P2，控制装置110就驱动电动机84b，向上方移动升降用杆84c。如果向上方移动到层叠体25的最下层的托盘26脱离支承用爪\n87的移动轨迹的位置，控制装置110就停止升降用杆84c的驱动。 \n[0109] 如图17所示，如果向上方移动到层叠体25脱离支承用爪87的移动轨迹的位置上，控制装置110就驱动转动用杆98，将臂82转动到第一位置P1。 \n[0110] 如图18所示，如果将臂82转动到第一位置P1，控制装置110就向下方移动升降用杆84c，使得支承用爪87支承层叠体25。这样，利用支承用爪87支承最下层的托盘26的凸缘部23。 \n[0111] 这样地，利用托盘供应装置80供应托盘26后，利用托盘回收装置140回收托盘\n26。再有，在托盘回收装置140中，由于不需要分离机构83的动作，因此，也可以卸下分离机构83。在本实施方式中，在托盘回收装置140中未安装分离机构83。 \n[0112] 此外，也可以在利用托盘回收装置140回收托盘26时，同时利用托盘供应装置80供应托盘26。这时，托盘供应装置80中的电动机84b的驱动和托盘回收装置140中的电动机84b的驱动也可以不同步。可以利用控制装置110调整托盘供应装置80和托盘回收装置140中的升降用杆84c的驱动速度。例如，也可以在控制装置110中设置输入部，以使操作者能够利用该输入部进行电动机84b的驱动速度的调整。 \n[0113] 此外，托盘供应装置80中的升降装置84的动作是本发明中所述的第一动作。托盘回收装置140中的升降装置84的动作是本发明中所述的第二动作。 \n[0114] 在图5～图18中省略了导向部件150、配线100a、120a、84f、89a、配管95、99、控制装置110和气泵120。\n[0115] 这样构成的托盘供应装置80具有升降装置84。所以，在供应托盘26时，利用升降装置84移动被供应的托盘26。 \n[0116] 即，由于不是只落下被供应的托盘26的结构，因此，即使在托盘26内容纳有液晶面板21、IC41、FPC61等部件，也能够安全地供应托盘26。 \n[0117] 另外，由于托盘供应装置80具有分离机构83，因此，抑制所谓不供应托盘26的供应失误的发生。 \n[0118] 另外，通过是托盘供应装置80具有升降装置84的结构，托盘供应装置80也能够用作托盘回收装置140。 \n[0119] 这样地，托盘供应装置80具有能够供应装有部件的托盘，同时能够抑制托盘的供应失误，并且能够用相同结构回收托盘的功能。 \n[0120] 此外，由于是在臂82上固定分离装置90，同时使用分离用爪94分离托盘26的结构，因此，能够比较容易地配置托盘供应装置80的配线和配管。 \n[0121] 关于这点具体地说明。利用在臂82上固定分离装置90，同时具有分离用爪94的结构，将配线和配管汇集在臂82的附近。另外，由于不是所谓的用吸附部件等分离托盘26，因此，不在板84d的移动范围内、换言之，不在传送带100的内侧配置吸附部件中使用的配管等。这样，配线和配管的配置变容易。 \n[0122] 此外，臂82是在绕转动轴88a转动的同时，端部82a相对于臂主体86大致弯曲90度的形状。然后，在端部82a的下方配置有转动装置91。因此，托盘供应装置80能够抑制臂82相互之间相对方向上的大小。即，结构紧凑地构成托盘供应装置80。