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发光二极管晶粒的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711047753.8
  • IPC分类号:H01L33/12;H01L33/44;H01L33/32;H01L33/00
  • 申请日期:
    2017-10-31
  • 申请人:
    展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司
著录项信息
专利名称发光二极管晶粒的制造方法
申请号CN201711047753.8申请日期2017-10-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-05-07公开/公告号CN109728142A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/12IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;1;2;;;H;0;1;L;3;3;/;4;4;;;H;0;1;L;3;3;/;3;2;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区龙华街道办油松第十工业区东环二路二号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人展晶科技(深圳)有限公司,荣创能源科技股份有限公司当前权利人展晶科技(深圳)有限公司,荣创能源科技股份有限公司
发明人凃博闵;洪梓健;沈佳辉;黄建翔;彭建忠
代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
一种发光二极管晶粒的制造方法,其包括如下步骤提供一第一基板;在所述第一基板一表面形成一缓冲层;在所述缓冲层远离所述第一基板的表面形成一紫外光屏蔽层;在所述紫外光屏蔽层远离所述缓冲层的表面磊晶生长形成至少一发光二极管晶粒;提供一第二基板,并在所述第二基板的一表面形成一胶粘层;将每一发光二极管晶粒远离所述第一基板的一侧通过所述胶粘层装设于所述第二基板;从所述第一基板远离所述发光二极管晶粒的一侧向所述第一基板照射紫外光,以将所述发光二极管晶粒与所述第一基板分离;蚀刻去除结合于所述发光二极管晶粒上的紫外光屏蔽层;以及去除所述第二基板及胶粘层,从而得到所述发光二极管晶。

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