制造硅单晶设备

发明专利无效专利

申请号：
CN90102209.8
IPC分类号：--
申请日期：
1990-03-30
申请人：
日本钢管株式会社

基础信息

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法律信息

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著录项信息

专利名称	制造硅单晶设备
申请号	CN90102209.8	申请日期	1990-03-30
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日	1991-05-08	公开/公告号	CN1051207
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本钢管株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本钢管株式会社	当前权利人	日本钢管株式会社
发明人	中滨泰光;荒木健治;神尾宽
代理机构	中国专利代理有限公司	代理人	肖掬昌;吴秉芬

摘要

在一种连续装入原料类型的硅单晶制造设备中，设有一个隔件将石英坩埚内的熔体分成单晶生长区和材料熔化区，还有一个将该材料熔化区上方遮盖起来的金属持热板。该金属持热板用来防止隔件内侧上硅熔体凝固，并防止硅单晶过冷。金属持热板厚度为3mm或更薄，而其材料为钽或钼。再者，该持热板包括具有多个开孔的直体部位，用来调节单晶温度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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