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专利名称 | 隔绝空气条件下的样品传输装置 |
申请号 | CN202221158179.X | 申请日期 | 2022-05-12 |
法律状态 | 授权 | 申报国家 | 暂无 |
公开/公告日 | | 公开/公告号 | |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | H01J37/18 | IPC分类号 | H;0;1;J;3;7;/;1;8;;;H;0;1;J;3;7;/;2;0查看分类表>
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申请人 | 中国科学技术大学 | 申请人地址 | 安徽省合肥市包河区金寨路96号
变更
专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效 |
权利人 | 中国科学技术大学 | 当前权利人 | 中国科学技术大学 |
发明人 | 周宏敏 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周天宇 |
摘要
本实用新型提供一种隔绝空气条件下的样品传输装置,涉及扫描电子显微镜技术领域。该装置用于将样品从样品交换仓(5)传输至扫描电子显微镜样品仓(6),装置包括盒体(1),一端开口,内部开设有用于装载样品的空腔;套件(2),三面套设于盒体(1)外壁,套件(2)固定于盒体(1)的开口端,并与盒体(1)的开口端上表面形成凹槽;插盖(3),插设于凹槽,以对盒体(1)的开口端进行密封覆盖;连接杆(4),一端连接插盖(3),另一端连结样品交换仓(5)。本实用新型可以实现将样品在隔绝空气条件下传输至扫描电子显微镜的样品仓,该装置工艺简单,易于制作且成本低廉。
1.一种隔绝空气条件下的样品传输装置,用于将样品从样品交换仓(5)传输至扫描电子显微镜样品仓(6),其特征在于,包括:
盒体(1),一端开口,内部开设有用于装载样品的空腔;
套件(2),三面套设于所述盒体(1)外壁,所述套件(2)固定于所述盒体(1)的开口端,并与所述盒体(1)的开口端上表面形成凹槽;
插盖(3),插设于所述凹槽,以对所述盒体(1)的开口端进行密封覆盖;
连接杆(4),一端连接所述插盖(3),另一端连结所述样品交换仓(5)。
2.根据权利要求1所述的隔绝空气条件下的样品传输装置,其特征在于,所述盒体(1)包括圆形盒体或者矩形盒体,其中:
所述盒体(1)高度设置为2mm~50mm;
所述圆形盒体的直径设置为10mm~200mm;
所述矩形盒体的长度和宽度均设置为10mm~200mm。
3.根据权利要求1所述的隔绝空气条件下的样品传输装置,其特征在于,所述连结包括固定连接或者可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的隔绝空气条件下的样品传输装置,其特征在于,所述连接杆(4)具有预设拉伸强度,长度在5mm~500mm之间。
5.根据权利要求1所述的隔绝空气条件下的样品传输装置,其特征在于,所述套件(2)与所述盒体(1)的开口端的连接处设置有密封垫或者O型密封圈。
6.根据权利要求1所述的隔绝空气条件下的样品传输装置,其特征在于,所述套件(2)采用螺栓固定于所述盒体(1)的开口端;
所述连接杆(4)的一端固定连接所述插盖(3),或者与所述插盖(3)一体成形,所述连接杆(4)的两端不同时为固定连接。
隔绝空气条件下的样品传输装置\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及扫描电子显微镜技术领域,尤其涉及一种隔绝空气条件下的样品传输装置。\n背景技术\n[0002] 扫描电子显微镜是一种用于材料样品形貌和成分分析的常用仪器设备。通过二次电子成像实现形貌观察,激发出样品特征X射线来进行样品成分分析。由于电子传播需要一定的真空度,且二次电子穿透能力弱,扫描电子显微镜样品测试是需要在一定真空条件下,并且样品无任何遮挡下进行。某些样品由于自身化学或物理性质,在空气中易与空气中的氧气或者水发生化学反应或易吸收空气中的水,在制备时就必须要在手套箱或者特殊的环境氛围保护下进行,不能与空气接触。对此类样品的扫描电子显微镜测试分析需要在样品全程不接触空气条件下,将样品从制备的保护环境中取出并进入扫描电子显微镜样品仓。\n[0003] 因此,需要通过设计特殊的样品转移和传输装置,以实现样品与空气隔绝。并将样品送入扫描电子显微镜样品仓中。\n实用新型内容\n[0004] 鉴于上述问题,本实用新型提供了一种隔绝空气条件下的样品传输装置,可以实现将样品在隔绝空气条件下传输至扫描电子显微镜的样品仓。\n[0005] 本实用新型提供了一种隔绝空气条件下的样品传输装置,用于将样品从样品交换仓传输至扫描电子显微镜样品仓,装置包括:盒体,一端开口,内部开设有用于装载样品的空腔;套件,三面套设于盒体外壁,套件固定于盒体的开口端,并与盒体的开口端上表面形成凹槽;插盖,插设于凹槽,以对盒体的开口端进行密封覆盖;连接杆,一端连接插盖,另一端连结样品交换仓。\n[0006] 进一步地,盒体包括圆形盒体或者矩形盒体,其中:盒体高度设置为2mm~50mm;圆形盒体的直径设置为10mm~200mm;矩形盒体的长度和宽度均设置为10mm~200mm。\n[0007] 进一步地,连结包括固定连接或者可拆卸连接,可拆卸连接包括粘贴连接、螺栓连接、卡扣连接或卡槽连结。\n[0008] 进一步地,连接杆具有预设拉伸强度,长度在5mm~500mm之间。\n[0009] 进一步地,套件与盒体的开口端的连接处设置有密封垫或者O型密封圈。\n[0010] 进一步地,套件采用螺栓固定于盒体的开口端;连接杆的一端固定连接插盖,或者与插盖一体成形,连接杆的两端不同时为固定连接。\n[0011] 与现有技术相比,本实用新型提供的隔绝空气条件下的样品传输装置,至少具有以下有益效果:\n[0012] 本实用新型提供的装置可以实现样品与空气的隔绝并传输进入扫描电子显微镜样品仓。在承载样品组装完成后,通过盒体固定于扫描电子显微镜交换仓内的样品台基座上后,待样品交换仓到达扫描电子显微镜的真空度后,推动推杆将盒体由交换仓平移推向样品仓。推入过程中,插盖被连连接杆连接于交换仓仓体,不能随推杆平移,盒体逐渐被推出直至分离进入扫描电子显微镜样品仓,样品不再受空气影响。该装置工艺简单,易于制作且成本低廉。\n附图说明\n[0013] 通过以下参照附图对本实施例的描述,本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚,在附图中:\n[0014] 图1示意性示出了根据本实施例的隔绝空气条件下的样品传输装置的结构图;\n[0015] 图2示意性示出了将盒体置于样品交换仓中的状态图;\n[0016] 图3示意性示出了在盒体推入扫描电子显微镜样品仓过程中,插盖被连接杆拉开的状态图。\n[0017] 【附图标记说明】\n[0018] 1‑盒体;2‑套件;3‑插盖;4‑连接杆;5‑样品交换仓;6‑扫描电子显微镜样品仓;7‑样品台基座;8‑推杆。\n具体实施方式\n[0019] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本实用新型进一步详细说明。显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。\n[0020] 在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例,而并非意在限制本实用新型。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。\n[0021] 在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或可以互相通讯;可以是直接连接,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。\n[0022] 在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义,除非另外定义。应注意,这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义,而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。\n[0023] 为实现样品隔绝空气条件下进入扫描电子显微镜样品仓并能进行观察检测,本实用新型提供一种隔绝空气条件下的样品传输装置。\n[0024] 图1示意性示出了根据本实施例的隔绝空气条件下的样品传输装置的结构图。图2示意性示出了将盒体置于样品交换仓中的状态图。图3示意性示出了在盒体推入扫描电子显微镜样品仓过程中,插盖被连接杆拉开的状态图。\n[0025] 结合图1~图3所示,本实施例提供的隔绝空气条件下的样品传输装置,用于将样品从样品交换仓5传输至扫描电子显微镜样品仓6,该装置包括盒体1、套件2、插盖3和连接杆4。其中,盒体1一端开口,内部开设有用于装载样品的空腔。套件2三面套设于盒体1外壁,套件2固定于盒体1的开口端,并与盒体1的开口端上表面形成凹槽。插盖3插设于凹槽,以对盒体1的开口端进行密封覆盖。连接杆4的一端连接插盖3,另一端连结样品交换仓5。\n[0026] 具体来说,盒体1的材料不限,并具有一定的硬度。盒体1包括圆形盒体或者矩形盒体。其中,盒体1高度设置为2mm~50mm。如果盒体1为圆形盒体,则该圆形盒体的直径可以设置为10mm~200mm。如果盒体1为矩形盒体,则矩形盒体的长度和宽度均可以设置为10mm~\n200mm。\n[0027] 套件2的材料不限,有一定的硬度,套件2的内部大小及形状与盒体1外壁一致,三面环绕,另外一面开口。套件2首次固定在盒体1上后可以不拆卸,以便于后期使用。\n[0028] 插盖3的材料不限,具有一定的硬度,可紧密插入套件2与盒体1开口端表面的凹槽中,并通过与盒体1开口端的紧密结合形成对盒体1内空腔的封闭。插盖3通过套件2的一开口面捅入凹槽后,以对盒体1开口端的密封覆盖,进而实现盒体1内部的空腔内承载的样品与外部的隔绝。\n[0029] 连接杆4的一端连接插盖3,另一端连结样品交换仓5。其中,该连结具体可以包括固定连接或者可拆卸连接,可拆卸连接具体可以包括粘贴连接、螺栓连接、卡扣连接或卡槽连结。\n[0030] 进一步地,连接杆4的一端固定连接插盖3,或者与插盖3一体成形,但是,连接杆4的两端不同时为固定连接。\n[0031] 本实施例中,连接杆4材料不限,具有预设拉伸强度,且长度在5mm~500mm之间。\n[0032] 将套件2固定于盒体1开口端后,根据样品的特性和扫描电子显微镜制样要求,在惰性气体的保护氛围下,将样品固定于盒体1内部的空腔,并将插盖3插设于凹槽。\n[0033] 插盖3插入凹槽后,对盒体1内承载样品的空腔进行密封,实现样品与外界的隔绝。\n可选地,套件2与盒体1的开口端的连接处还可以设置有密封垫或者O型密封圈,以增强盒体\n1开口端的密封效果。\n[0034] 根据扫描电子显微镜本身的配置和工作流程,图2中还配置有样品台基座7和推杆\n8。其中,样品台基座7用于承载并固定盒体1,推杆8固定连接样品台基座7,用于推动样品台基座7从样品交换仓5移动至扫描电子显微镜样品仓6。\n[0035] 如图2所示,将盒体、套件和插盖组装成样品盒后,通过盒体1固定于样品交换仓5内的样品台基座7上,并将连接杆4的两端分别连接至插盖3和样品交换仓5。\n[0036] 进一步地,样品交换仓5与扫描电子显微镜样品仓6之间设置有通道阀门,其中:通道阀门用于在样品交换仓5达到预设真空度时开启;推杆8在通道阀门的开启后,推动样品台基座7。\n[0037] 由此,在承载样品组装完成后,将盒体1固定于样品交换仓5内的样品台基座7上,将连接杆4一端连接于插盖3上,另一端连接于样品交换仓5仓体上,关闭仓门。待样品交换仓5达到预设真空度后,打开样品交换仓5与扫描电子显微镜样品仓6的通道阀门,推动推杆\n8将盒体1由样品交换仓5平移推向扫描电子显微镜样品仓6。在推入过程中,插盖3由于被连接杆4连接于样品交换仓5仓体,不能随推杆8平移,样品台基座7和推杆8已固定一起,盒体1逐渐被推出直至分离进入扫描电子显微镜样品仓6。\n[0038] 需要说明的是,在一些实施例中,套件2还可以采用除了螺栓之外的其他方式固定于盒体1的开口端。在一些实施例中,连接杆4的一端还可以通过粘贴或者其他方式实现与插盖3的连接,可以是固定连接、可拆卸连接;连接杆4的另一端可通过粘贴或者螺丝固定等直接或者通过其他配件等间接方式与样品交换仓5实现连结,可以是固定连接、可拆卸连接。\n[0039] 基于上述公开内容,本实施例的隔绝空气条件下的样品传输装置,具体操作方式如下:\n[0040] 根据样品特性选择惰性保护气体在手套箱或者类似可以提供气体保护环境下,根据扫描电子显微镜的制样要求,将待测样品固定于已安装了套件2的盒体1中,然后将插盖3插入固定凹槽中。将组装完成的样品盒从手套箱或者保护环境中取出。打开样品交换仓5,将通过盒体1固定于样品交换仓5内的样品台基座7上。将连接杆4一端连接插盖3,另一端连结于样品交换仓5上,关闭样品交换仓5。样品交换仓5抽真空,达到预设真空度后,打开样品交换仓5与扫描电子显微镜样品仓6之间的通道阀门,推动推杆8将盒体1平移推入扫描电子显微镜样品仓6。后续操作步骤按照扫描电子显微镜的测试操作进行。\n[0041] 以下给出使用隔绝空气条件下的样品传输装置的一具体实施例的操作方式:\n[0042] 通过螺丝将套件2固定于盒体1上,并在氩气保护的手套箱中将样品固定于盒体1中,将插盖3插入凹槽,从手套箱中取出装有样品的样品盒装置。此样品盒装置的测试使用德国蔡司公司GeminiSEM500型扫描电子显微镜进行。\n[0043] (1)利用螺丝通过盒体1将样品盒固定于样品交换仓5内的样品台基座7上。\n[0044] (2)将连接杆4的一端通过螺丝固定连接于插盖3,另一端通过螺丝固定连结于样品交换仓5的仓体。\n[0045] (3)待样品交换仓5的预设真空度到达后,打开样品交换仓5与扫描电子显微镜样品仓6之间的通道阀门,利用推杆8将盒体1推入扫描电子品微镜样品仓6中。从扫描电子显微镜样品仓6的CCD相机可以看出,插盖3可以完全从凹槽中抽出并与盒体1分离,达到预期效果。\n[0046] 综上所述,本实施例提供了一种隔绝空气条件下的样品传输装置,用于将样品从样品交换仓5传输至扫描电子显微镜样品仓6,该装置包括盒体1、套件2、插盖3和连接杆4。\n本实用新型提供的装置可以实现样品与空气的隔绝并传输进入扫描电子显微镜样品仓。在承载样品组装完成后,通过盒体固定于扫描电子显微镜交换仓内的样品台基座上后,待样品交换仓到达扫描电子显微镜的真空度后,推动推杆将盒体由交换仓平移推向样品仓。推入过程中,插盖被连连接杆连接于交换仓仓体,不能随推杆平移,盒体逐渐被推出直至分离进入扫描电子显微镜样品仓,样品不再受空气影响。该装置工艺简单,易于制作且成本低廉。\n[0047] 在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。贯穿附图,相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。可能导致本实用新型的理解造成混淆时,将省略常规结构或构造。并且图中各部件的形状、尺寸、位置关系不反映真实大小、比例和实际位置关系。\n[0048] 类似地,为了精简本实用新型并帮助理解各个公开方面中的一个或多个,在上面对本实用新型示例性实施例的描述中,本实用新型的各个特征有时被一起分到单个实施例、图或者对其描述中。参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。\n[0049] 此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。因此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个、三个等,除非另有明确具体的限定。此外,位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。除非另有说明,否则表述“大约”、“约”、“基本上”和“左右”表示在\n10%以内,优选地,在5%以内。\n[0050] 以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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