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一种单晶生长炉内腔清洁设备

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220198767.6
  • IPC分类号:B08B9/20;B08B9/28;C30B35/00
  • 申请日期:
    2012-05-07
  • 申请人:
    浙江浙大圆正机电有限公司
著录项信息
专利名称一种单晶生长炉内腔清洁设备
申请号CN201220198767.6申请日期2012-05-07
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B9/20IPC分类号B;0;8;B;9;/;2;0;;;B;0;8;B;9;/;2;8;;;C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人浙江浙大圆正机电有限公司申请人地址
浙江省杭州市滨江区东冠路611号金盛工业园2幢4单元 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江浙大圆正机电有限公司当前权利人浙江浙大圆正机电有限公司
发明人王跃刚;范凤仙
代理机构杭州求是专利事务所有限公司代理人张法高
摘要
本实用新型公开了一种单晶生长炉内腔清洁设备。它包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件,升降组件装在基础板上,旋转组件装在升降组件的升降支架上,水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。它的主要特点是结构紧凑,运动灵活自如,臂杆能曲能伸,能上能下,360°圆周作业,用力均衡,擦拭均匀,在高压水射流从顶部五面喷射的配合下,清洁效果极佳。本实用新型设计简单,容易实现,也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。

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