一种利用迭代法实现熔丝修调的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610767531.2
IPC分类号：H01L21/66
申请日期：
2016-08-30
申请人：
无锡中微腾芯电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种利用迭代法实现熔丝修调的方法
申请号	CN201610767531.2	申请日期	2016-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-02-01	公开/公告号	CN106370996A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	无锡中微腾芯电子有限公司	申请人地址	江苏省无锡市滨湖区惠河路5号208信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡中微腾芯电子有限公司	当前权利人	无锡中微腾芯电子有限公司
发明人	唐彩彬
代理机构	无锡市大为专利商标事务所（普通合伙）	代理人	殷红梅

摘要

本发明提供一种利用迭代法实现熔丝修调的方法，包括：步骤1，设定熔丝修调后基准电压的目标值并建立一张熔丝真值表；步骤2，进行一个芯片的测试，监控芯片烧熔丝前基准电压实测值；步骤3，根据烧熔丝前基准电压实测值和基准电压目标值计算出该管芯熔丝烧写的步数，再根据熔丝真值表的对应关系烧断相应的熔丝；步骤4，再次测量烧熔丝后基准电压值，并判断出基准值测试项是否合格；步骤5，根据烧熔丝前与烧熔丝后基准电压实测值计算出当前熔丝烧写的步距，并用于下一颗管芯的熔丝烧写计算当中。其优点是：迭代法用于熔丝修调，自动调整熔丝真值表，使之更加适用于当前圆片区域，修调后的基准值更加接近目标值，从而提升测试良率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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