一种MPCVD金刚石研磨装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110307383.7
IPC分类号：B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B55/06;B24B55/12;B24B57/02
申请日期：
2021-03-23
申请人：
湖州中芯半导体科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种MPCVD金刚石研磨装置
申请号	CN202110307383.7	申请日期	2021-03-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-28	公开/公告号	CN112847125A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/04 适用于加工平面的〔1，2012.01〕 B24B37/07 以工件或研具的运动为特征〔2012.01〕 B24B37/10 用于单侧研磨〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;1;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;4;7;/;1;2;;;B;2;4;B;4;7;/;2;0;;;B;2;4;B;4;7;/;2;2;;;B;2;4;B;4;7;/;2;6;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6;;;B;2;4;B;5;5;/;1;2;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人	湖州中芯半导体科技有限公司	申请人地址	浙江省湖州市高新区中横港路33号2号厂房5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖州中芯半导体科技有限公司	当前权利人	湖州中芯半导体科技有限公司
发明人	刘宏明;林琳
代理机构	北京华际知识产权代理有限公司	代理人	黄永兰

摘要

本发明涉及金刚石加工技术领域，且公开了一种MPCVD金刚石研磨装置，包括研磨盘，研磨盘的底面固定连接有电机架，电机架底面固定安装有转动电机，转动电机的传动轴在研磨盘内的一端固定连接有砂轮，研磨盘顶面左右两侧均开设有滑槽，滑槽内套入有滑板，滑板对应研磨盘中心的一面开设有横截面呈凸字型的槽，滑板的内壁套入有滑块，滑块远离研磨盘中心的一面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有转盘，转盘的外壁开设有齿槽，滑板侧面内壁开设有槽且槽内套入有五个齿板，通过滑板的设置，在金刚石每个面研磨完毕抬升的过程中，自动让金刚石产生转动，免除拆装金刚石调整角度的繁琐操作，提高金刚石研磨的加工效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供