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陶瓷烧结体以及半导体装置用基板

发明专利有效专利

申请号：
CN201880098368.2
IPC分类号：C04B35/119;H01L23/15
申请日期：
2018-12-06
申请人：
日本碍子株式会社;NGK电子器件株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	陶瓷烧结体以及半导体装置用基板
申请号	CN201880098368.2	申请日期	2018-12-06
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112789255A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/119 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕 C04B35/10 以氧化铝为基料的〔6〕 C04B35/111 精细陶瓷〔6〕 C04B35/117 复合材料〔6〕 C04B35/119 用氧化锆〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;1;1;9;;;H;0;1;L;2;3;/;1;5查看分类表>
申请人	日本碍子株式会社;NGK电子器件株式会社	申请人地址	日本国爱知县名古屋市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本碍子株式会社,NGK电子器件株式会社	当前权利人	日本碍子株式会社,NGK电子器件株式会社
发明人	梅田勇治;河野浩
代理机构	北京汇思诚业知识产权代理有限公司	代理人	龚敏;王刚

摘要

陶瓷烧结体(3)包含Zr、Al、Y和Mg，Zr的含量以ZrO2换算为7.5质量％以上且23.5质量％以下，Al的含量以Al2O3换算为74.9质量％以上且91.8质量％以下，Y的含量以Y2O3换算为0.41质量％以上且1.58质量％以下，Mg的含量以MgO换算为0.10质量％以上且0.80质量％以下。陶瓷烧结体(3)的热老化后M相率为15％以下。

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