多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310432322.9
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54
申请日期：
2013-09-23
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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专利名称	多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法
申请号	CN201310432322.9	申请日期	2013-09-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-25	公开/公告号	CN104372299A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市董铺岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	杨俊峰;蒋燕;杨瑞芳;程帜军;王先平;方前锋
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法，所述多层结构涂层是通过磁控溅射在_基底上交替沉积Mo‑Al‑Si‑N和Mo‑Ag‑N涂层来制备多层的Mo‑Al‑Si‑N/Mo‑Ag‑N涂层。本发明的多层结构涂层具有较高的硬度和抗氧化性温度以及低的摩擦系数和磨损率，特别适用高速干式切削工具(铣刀、钻头)和其他耐磨工件上镀制的优质超硬薄膜。本发明的制备方法沉积速度快，效率高，生产成本低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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