加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种底栅薄膜晶体管及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310018388.3
  • IPC分类号:H01L29/786;H01L29/49;H01L21/336;H01L21/28
  • 申请日期:
    2013-01-17
  • 申请人:
    北京大学
著录项信息
专利名称一种底栅薄膜晶体管及其制备方法
申请号CN201310018388.3申请日期2013-01-17
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-04-17公开/公告号CN103050544A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/786
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;9;/;4;9;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8查看分类表>
申请人北京大学申请人地址
北京市海淀区颐和园路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京大学当前权利人北京大学
发明人韩德栋;张索明;田宇;单东方;黄福青;丛瑛瑛;王漪;张盛东;刘力锋;刘晓彦;康晋锋
代理机构北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张肖琪
摘要
本发明公开了一种底栅薄膜晶体管及其制备方法。本发明在玻璃或者塑料的衬底上制备薄膜晶体管,采用掺镓的氧化锌半导体材料作为透明半导体导电的沟道层,在制备过程中采用独特工艺加入适量的氧气使掺镓的氧化锌呈现出半导体特性,并且显示出高迁移特性,有效的提高了薄膜晶体管的性能。本发明的制备方法步骤简单,制备成本低,对提高薄膜晶体管器件的性能具有积极效果,改善了器件性能,降低了制备成本。同时,氧化锌镓薄膜是环保材料,工艺简单,制备成本低,具有广泛的应用前景。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供