气浮轴承装置、运动台以及光刻设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010124737.X
IPC分类号：F16C32/06;F16C33/00;G03F7/20
申请日期：
2020-02-27
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司

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著录项信息

专利名称	气浮轴承装置、运动台以及光刻设备
申请号	CN202010124737.X	申请日期	2020-02-27
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-08-27	公开/公告号	CN113309785A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16C32/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16C 轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承〔5〕 F16C32/00 不包含在其他类目中的轴承 F16C32/06 带有至少在很大程度上不是由轴的运动形成的流体垫所支承的运动元件，如流体静力气垫轴承〔2〕	IPC分类号	F;1;6;C;3;2;/;0;6;;;F;1;6;C;3;3;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	王昱
代理机构	上海思捷知识产权代理有限公司	代理人	王宏婧

摘要

本发明提供一种气浮轴承装置、一种运动台和一种光刻设备。气浮轴承装置包括气浮单元和支撑单元，气浮单元中轴承主体的安装面设置有第一调节结构，支撑单元中支座主体设置有贯穿表面的安装孔，调节块从支座主体一侧可拆卸且高度可调地设置在安装孔内，调节块一端设置有第二调节结构。调整调节块在安装孔内的高度可以调整气浮单元，气浮轴承装置的各部件间为可拆卸连接，可以实现快速对气浮单元进行安装、更换以及调试。本发明提供一种运动台，包括运动台框架、导轨和气浮轴承装置。对运动台中的气浮轴承装置进行安装和维护时不需要把运动台框架大幅度提升，可以提升运动台安装和维护的效率。本发明还提供一种光刻设备。

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