一种带有集成控制系统的靶材烧结炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920802416.3
IPC分类号：F27D19/00
申请日期：
2019-05-30
申请人：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种带有集成控制系统的靶材烧结炉
申请号	CN201920802416.3	申请日期	2019-05-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27D19/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27D 一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27D19/00 控制装置的配置	IPC分类号	F;2;7;D;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	东莞市欧莱溅射靶材有限公司	申请人地址	广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市欧莱溅射靶材有限公司	当前权利人	东莞市欧莱溅射靶材有限公司
发明人	李兵
代理机构	北京天盾知识产权代理有限公司	代理人	林晓宏

摘要

本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材烧结炉，集成控制系统设置三相电源输入端，三相电源输入端并联有电源控制电路、升降驱动电路、炉温控制电路和炉压控制电路，电源控制电路设置有电源启动模块、人机输入界面、PLC控制单元，升降驱动电路设置有一变频支路，PLC控制单元通过信号输出端口导通或切断变频支路的，变频支路的输出端电连接升降驱动电机；炉压控制电路设置有一固态继电器，固态继电器的输入控制端电连接PLC控制单元的信号输出端口，固态继电器的受控输出端电连接排气阀，炉温控制电路电连接发热元件。本实用新型能够根据靶材生产工艺需求调控工作台的工作速度，且能稳定地控制烧结炉的炉压。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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