一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201710323729.6
IPC分类号：G01J9/02
申请日期：
2017-05-10
申请人：
太原理工大学

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著录项信息

专利名称	一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置
申请号	CN201710323729.6	申请日期	2017-05-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-15	公开/公告号	CN107167250A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J9/00 测量光学相位差；测定相干性的程度；测量光学波长（光谱测定法入G01J 3/00）〔3〕 G01J9/02 采用干涉法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;J;9;/;0;2查看分类表>
申请人	太原理工大学	申请人地址	山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	太原理工大学	当前权利人	太原理工大学
发明人	赵晓丹;杨晨瑞;张明达;齐艳强;杨毅彪;陈智辉
代理机构	太原市科瑞达专利代理有限公司	代理人	李富元

摘要

本发明属于精密位移测量与控制领域，涉及了一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置。一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机。控制主机发出第一电压信号，使光路放大装置中的动镜与定镜之间的相对位置发生变化，利用光路放大装置将微小位移转化为数倍于它的光程，使迈克尔逊干涉装置测量精度达到纳米级。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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