面板平行度调整装置及具备该装置的面板附着装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201080034503.0
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/68;G02F1/13
申请日期：
2010-07-20
申请人：
韩东熙

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专利名称	面板平行度调整装置及具备该装置的面板附着装置
申请号	CN201080034503.0	申请日期	2010-07-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-23	公开/公告号	CN102473667A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;G;0;2;F;1;/;1;3查看分类表>
申请人	韩东熙	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社菲尔光学	当前权利人	株式会社菲尔光学
发明人	韩东熙
代理机构	北京青松知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	郑青松

摘要

本发明公开了一种面板平行度调整装置及具备该装置的面板附着装置。该面板平行度调整装置包括：具有上表面的基板、配置在基板上表面的第一支撑轴、与第一支撑轴结合成能够以第一支撑轴为旋转中心旋转的第一倾斜板、用于对第一倾斜板施力以使第一倾斜板以第一支撑轴为中心旋转的第一倾斜致动器、在第一倾斜板的上表面上配置成与第一支撑轴交叉的第二支撑轴、与第二支撑轴结合成能够以第二支撑轴为旋转中心旋转的第二倾斜板、用于对第二倾斜板施力以使所述第二倾斜板以第二支撑轴为中心旋转的第二倾斜致动器、与第二倾斜板的上表面结合而能够使面板安装的面板安装用板。根据本发明，第一倾斜板能够以第一支撑轴为旋转中心倾斜，第二倾斜板能够以与第一支撑轴交叉的第二支撑轴为旋转中心倾斜，由此能够以各种方向及角度精确地调整即将安装在面板安装用板上的面板。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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