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一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410487218.4
  • IPC分类号:H01L21/332;H01L21/56
  • 申请日期:
    2014-09-22
  • 申请人:
    鞍山市良溪电力科技有限公司
著录项信息
专利名称一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法
申请号CN201410487218.4申请日期2014-09-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-01-14公开/公告号CN104282557A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/332IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人鞍山市良溪电力科技有限公司申请人地址
辽宁省鞍山市铁西区四方台路296号(通尊科技园8号楼B座) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鞍山市良溪电力科技有限公司当前权利人鞍山市良溪电力科技有限公司
发明人于能斌;于泽;张宏伟;王景波;刘欣宇
代理机构鞍山嘉讯科技专利事务所代理人张群
摘要
本发明涉及一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法,包括以下步骤:1)清洗硅片;2)石英闭管清洗;3)镓、铝源一次全扩散;4)P+扩散;5)氧化;6)一次光刻;7)磷扩散;8)割圆;9)烧结;10)蒸发;11)合金;12)二次光刻;13)台面成型;14)封装;15)晶闸管测试。1)在控制极回路中加入温度控制器,实现超高温保护;2)采用高纯镓、高纯铝源一次全扩散的制造工艺技术,扩散均匀,效率高;3)采用阳极P+扩散技术降低硅片与钼片接触的压降;4)烧结过程采用电脑程控仪控制设备烧结温度,精确稳定,一致性好;5)外密封管壳采用无氧铜加陶瓷密封,热阻小,防潮性能高。

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