一种温度传感器的制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110439829.8
IPC分类号：G01K7/18
申请日期：
2011-12-23
申请人：
重庆市伟岸测器制造股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种温度传感器的制作方法
申请号	CN201110439829.8	申请日期	2011-12-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-04	公开/公告号	CN102539004A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K7/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K7/00 以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量（给出除温度瞬时值之外其他结果的入G01K 3/00） G01K7/16 利用电阻元件 G01K7/18 元件为线性电阻，例如，铂电阻温度计（G01K 7/26优先）	IPC分类号	G;0;1;K;7;/;1;8查看分类表>
申请人	重庆市伟岸测器制造股份有限公司	申请人地址	重庆市北部新区高新园黄山大道中段66号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆市伟岸测器制造股份有限公司	当前权利人	重庆市伟岸测器制造股份有限公司
发明人	汪松林
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开一种温度传感器的制作方法，其特征在于包括如下步骤：制作衬底、淀积、溅射、第一次退火、第一次光刻、金属化、第二次退火、第二次光刻、测试、修调、划片、切挑、键合引线和封装。采用上述制造方法采用硅片或蓝宝石衬底以及分别溅射铂薄膜电阻和金引线层，从而使得本发明容易制作，同时提高了温度传感器的测量精度和灵敏度；具有结构简单、安全可靠、计量准确等特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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