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光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810212755.2
  • IPC分类号:A61B1/05;G02B21/00
  • 申请日期:
    2008-09-04
  • 申请人:
    富士胶片株式会社
著录项信息
专利名称光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法
申请号CN200810212755.2申请日期2008-09-04
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2009-03-11公开/公告号CN101380221
优先权暂无优先权号暂无
主分类号A61B1/05IPC分类号A;6;1;B;1;/;0;5;;;G;0;2;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人富士胶片株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士胶片株式会社当前权利人富士胶片株式会社
发明人荻洼真也
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人梁晓广;关兆辉
摘要
光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法。提供一种光学扫描探针,其包括利用光来扫描受检体的光学扫描元件,以及用于对使该光学扫描元件执行光学扫描的驱动信号进行切换的信号切换部件。该光学扫描元件包括:具有微型反射镜的可动部分,该微型反射镜沿着第一转动方向和第二转动方向移位;以及向该可动部分施加物理作用力的第一和第二驱动器。该信号切换部件具有用于将驱动准备信号切换成扫描驱动信号的功能,其中该驱动准备信号用于沿着第一转动方向或者第二转动方向吸引该可动部分,并且该扫描驱动信号用于交替地沿着第一转动方向和第二转动方向吸引该可动部分。该驱动准备信号的最大电压被设定为高于扫描驱动信号的最大电压。

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