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使用超声波使玻璃衬底从载体上脱离

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201080048043.7
  • IPC分类号:H01L21/68
  • 申请日期:
    2010-08-26
  • 申请人:
    康宁股份有限公司
著录项信息
专利名称使用超声波使玻璃衬底从载体上脱离
申请号CN201080048043.7申请日期2010-08-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2012-08-01公开/公告号CN102625951A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人康宁股份有限公司申请人地址
美国纽约 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人康宁股份有限公司当前权利人康宁股份有限公司
发明人A·R·E·卡雷;S·M·加纳;J·瓦库-恩辛巴
代理机构北京北翔知识产权代理有限公司代理人郑建晖;杨勇
摘要
一种用于制造包括薄的功能衬底(107)的设备的方法,该方法包括:将所述功能衬底结合至载体衬底(101);在所述功能衬底上形成功能部件(109);以及,通过施加超声波(205)至结合界面,使所述功能衬底从所述载体衬底脱离。施加超声波以通过减小功能衬底可经受的拉伸应力来协助所述脱离步骤。

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