一种单晶硅坩埚脱模装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022277057.X
IPC分类号：C30B15/12;C30B29/06
申请日期：
2020-10-14
申请人：
尹长浩

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专利名称	一种单晶硅坩埚脱模装置
申请号	CN202022277057.X	申请日期	2020-10-14
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/12 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/10 承载熔融液的坩埚或容器〔3〕 C30B15/12 双坩埚法〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;2;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	尹长浩	申请人地址	江苏省连云港市东海县牛山街道和平西路104号8幢1单元102室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	尹长浩	当前权利人	尹长浩
发明人	尹长浩
代理机构	连云港联创专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	鲁超

摘要

一种单晶硅坩埚脱模装置，该装置包括机架、用于对石英坩埚内壁切割或开槽的锯片、用于撑裂石英坩埚的楔形片、支持锯片和楔形片相互轮转和升降的支撑装置、将坩埚顶紧于驱动轮的配重装置。该装置可取代人工敲击实现非敲击式脱模，实现碳碳坩埚与石英坩埚的顺利分离，一方面可大大降低工作人员劳动强度，另一方面在作业过程对碳碳坩埚震动极小，大大降低碳碳坩埚的损坏几率，从而显著降低碳碳坩埚使用成本；其次，本发明可对温度较高的坩埚进行作业，大大缩短坩埚等待时间提高碳碳坩埚循环效率。

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