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应变感测装置及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710061700.5
  • IPC分类号:G01B7/16
  • 申请日期:
    2017-01-26
  • 申请人:
    华邦电子股份有限公司
著录项信息
专利名称应变感测装置及其制造方法
申请号CN201710061700.5申请日期2017-01-26
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2018-08-03公开/公告号CN108362199A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B7/16IPC分类号G;0;1;B;7;/;1;6查看分类表>
申请人华邦电子股份有限公司申请人地址
中国台湾台中市大雅区科雅一路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华邦电子股份有限公司当前权利人华邦电子股份有限公司
发明人蔡明志;何羽轩
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人马雯雯;臧建明
摘要
本发明提供一种应变感测装置及其制造方法。应变感测装置包括衬底与至少一感测电极。衬底具有多个孔洞。至少一感测电极位于衬底上,其中与衬底接触的感测电极延伸至衬底的多个孔洞中。至少一感测电极具有平行于衬底的表面的长轴。由于感测电极延伸至衬底的多个孔洞中,故感测电极与衬底之间可具有良好的附着性,进而可提高应变感测装置的准确度。

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