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多段溅射靶及其相关的方法和物品

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280022837.5
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2012-05-09
  • 申请人:
    H·C·施塔克公司
著录项信息
专利名称多段溅射靶及其相关的方法和物品
申请号CN201280022837.5申请日期2012-05-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-02-05公开/公告号CN103562432A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人H·C·施塔克公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人H·C·施塔克公司当前权利人H·C·施塔克公司
发明人G·A·罗扎克;M·E·盖多斯
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司代理人张海文
摘要
本发明公开了一种溅射靶,其包含至少两个固结的段,每个段含有合金,所述合金包括大于大约30%重量的钼和至少一种附加的合金元素;以及所述至少两个固结的段之间的接合处,所述接合处没有任何由于添加粘合剂(例如,粉末、金属薄片或其他)而形成的微观结构,并且基本上没有任何大于大约200μm宽(例如,小于大约50μm宽)的可见的接合线。制造所述靶的过程包括在温度低于1080℃下,将在压制前表面处理(例如,粗化到一预定的粗糙度值)的固结的预制段进行热等静压压制。

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