一种硅片清洗用换料装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201911377645.6
IPC分类号：B08B3/10;B08B13/00
申请日期：
2019-12-27
申请人：
杨兆安

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著录项信息

专利名称	一种硅片清洗用换料装置
申请号	CN201911377645.6	申请日期	2019-12-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-05-12	公开/公告号	CN111136060A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	杨兆安	申请人地址	内蒙古自治区包头市土默特右旗新型工业园区320室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	内蒙古科思通科技有限公司	当前权利人	内蒙古科思通科技有限公司
发明人	杨兆安
代理机构	北京华仁联合知识产权代理有限公司	代理人	王希刚

摘要

本发明属于硅片清洗技术领域，尤其是一种硅片清洗用换料装置，针对现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，现提出以下方案，包括底板、升降组件和固定组件。本发明通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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