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一种新型单晶炉用籽晶夹头

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120260230.3
IPC分类号：C30B15/32
申请日期：
2011-07-21
申请人：
天长市百盛半导体科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种新型单晶炉用籽晶夹头
申请号	CN201120260230.3	申请日期	2011-07-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/32 籽晶夹持器，例如籽晶夹头〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;3;2查看分类表>
申请人	天长市百盛半导体科技有限公司	申请人地址	安徽省天长市秦栏镇工业园区百盛路(天长市百盛半导体科技有限公司) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天长市百盛半导体科技有限公司	当前权利人	天长市百盛半导体科技有限公司
发明人	刘宏;林平;张建中
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	温子云

摘要

本实用新型提出一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述夹头本体靠近重锤处设有圆环形杂物槽，所述夹头本体的材质为石墨。本实用新型重锤部分采用相较于钼金属来说廉价的不锈钢制成，节约成本，同时，通过杂物槽对杂质进行收集，可以有效提高产品质量。

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