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多功能飞秒电子束诊断仪

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110254576.7
  • IPC分类号:G01T1/29
  • 申请日期:
    2011-08-31
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称多功能飞秒电子束诊断仪
申请号CN201110254576.7申请日期2011-08-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2012-05-09公开/公告号CN102445705A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01T1/29IPC分类号G;0;1;T;1;/;2;9查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市嘉定区800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人李文涛;王文涛;邓爱华;张辉;王成;刘建胜
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种用于可同时测量飞秒电子束长度、能谱和电量参数的多功能飞秒电子束诊断仪,由电子束偏转单元、电子束能谱单元、电子束初始方向定标单元、电子束偏转和电量测量单元组成。本发明主要利用了后向相干衍射辐射导致的电子束偏转效应,并结合了传统电子能谱仪和前向相干衍射辐射定标法,克服了传统电子束诊断仪无法实现对10fs甚至飞秒量级的电子束长度、能谱、电量等参数同步测量的缺点。实现了对飞秒电子束的电子束长度、能谱、电量的同步测量,具有操作简单、方便高效、测量精度高、应用范围广的优点。

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