一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110450922.2
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2021-04-26
申请人：
中国石油大学（华东）

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著录项信息

专利名称	一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法
申请号	CN202110450922.2	申请日期	2021-04-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-06	公开/公告号	CN113074665A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国石油大学（华东）	申请人地址	安徽省合肥市屯溪路193号合肥工业大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国石油大学（华东）	当前权利人	中国石油大学（华东）
发明人	于连栋;王婧;陆洋;赵会宁
代理机构	北京市科名专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	陈朝阳

摘要

本发明公开了一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法，包括以下步骤：步骤1、将光脉冲分束成参考光和测量光，引入色散，使测量光的脉冲展宽；步骤2、将参考光和展宽的测量光经扩束后分别由参考镜和待测样品反射到成像光谱仪，获取线轮廓的干涉光谱；步骤3、通过调节光脉冲的重复频率，改变参考光和测量光的光程差，重复步骤1‑2，获取线轮廓的干涉光谱；步骤4、将步骤2获取的线轮廓的干涉光谱和步骤3获取的线轮廓的干涉光谱进行错位拼接，即得到待测样品的线轮廓。本发明能够通过对输入光脉冲进行整形和频率扫描，克服光谱分辨干涉技术中方向模糊和死区的不足，而且在消除方向模糊和死区问题的同时，能够实现单次线轮廓测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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