研磨垫及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200680004397.5
IPC分类号：C08G18/66;C08G18/48;C08G18/32;C08G18/12;B24B37/24;H01L21/304;C08G101/00
申请日期：
2006-02-27
申请人：
东洋橡胶工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	研磨垫及其制造方法
申请号	CN200680004397.5	申请日期	2006-02-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2008-01-30	公开/公告号	CN101115779
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G18/66 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G18/00 异氰酸酯类或异硫氰酸酯类的聚合产物〔2〕 C08G18/06 与具有活性氢的化合物〔2〕 C08G18/28 以使用含有活性氢的化合物为特征〔2〕 C08G18/65 具有活性氢的低分子量化合物与具有活性氢的高分子量化合物〔2〕 C08G18/66 属于C08G 18/42、C08G 18/48或C08G 18/52组的化合物〔2〕	IPC分类号	C;0;8;G;1;8;/;6;6;;;C;0;8;G;1;8;/;4;8;;;C;0;8;G;1;8;/;3;2;;;C;0;8;G;1;8;/;1;2;;;B;2;4;B;3;7;/;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;C;0;8;G;1;0;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东洋橡胶工业株式会社	申请人地址	美国特拉华州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司	当前权利人	罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
发明人	堂浦真人;福田武司;小川一幸;数野淳;濑柳博;中森雅彦;山田孝敏;下村哲生
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李贵亮

摘要

本发明提供一种具有由聚氨酯树脂发泡体形成的研磨层的研磨垫及其制造方法中，所述聚氨酯树脂发泡体是异氰酸酯末端预聚物和增链剂的反应固化物，其中，(1)使用熔点70℃以下的芳香族多胺作为增链剂，(2)使用含有异氰酸酯成分和高分子量多元醇的异氰酸酯末端预聚物和作为增链剂的芳香族二醇的EO/PO加成体，或(3)使用脂肪族/脂环族异氰酸酯末端预聚物和作为增链剂的非卤素类芳香族胺。此外，所述聚氨酯树脂发泡体也可以使用多聚化二异氰酸酯和芳香族二异氰酸酯作为异氰酸酯成分。由此能够得到具有极其均匀的微细气泡，研磨特性(平坦化特性)优异，修整性提高的研磨垫。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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