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硅片传输机械手双电机同步控制装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020692738.6
  • IPC分类号:H02P5/46;H02P5/50
  • 申请日期:
    2010-12-30
  • 申请人:
    沈阳新松机器人自动化股份有限公司
著录项信息
专利名称硅片传输机械手双电机同步控制装置
申请号CN201020692738.6申请日期2010-12-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H02P5/46IPC分类号H;0;2;P;5;/;4;6;;;H;0;2;P;5;/;5;0查看分类表>
申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳新松机器人自动化股份有限公司当前权利人沈阳新松机器人自动化股份有限公司
发明人曲道奎;王金涛;宋吉来;邹风山
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司代理人李晓光
摘要
本实用新型涉及一种硅片传输机械手双电机同步控制装置,包括:主计算机、DSP电机同步控制卡、电机驱动器以及电机,其中主计算机作为主机,DSP电机同步控制卡作为从机,二者进行通信连接,DSP电机同步控制卡的两输出端分别与两个电机驱动器相连,每个电机驱动器的控制输出端接至电机,电机转速信息通过电机驱动器送至DSP电机同步控制卡。本实用新型能够在机械手运行过程中提高手臂同步性,避免硅片损坏,能够对机械手不同步性进行补偿,提高同步性。

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