激光移相干涉三角微位移测量装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810471725.7
IPC分类号：G01B11/06;G01B11/02;G01B9/02
申请日期：
2018-05-17
申请人：
哈尔滨工业大学

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专利名称	激光移相干涉三角微位移测量装置及方法
申请号	CN201810471725.7	申请日期	2018-05-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-07	公开/公告号	CN108955546A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	黄向东;谭久彬
代理机构	哈尔滨龙科专利代理有限公司	代理人	高媛

摘要

激光移相干涉三角微位移测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明将移相干涉技术和激光三角技术结合起来，以实现大范围高精度微位移测量。本发明装置主要包括基于Ronchi光栅分光的同步移相干涉分系统和激光三角位移测量分系统。本发明方案根据移相干涉原理和激光三角测距原理，通过光栅分光和四象限检偏器组同步获取四路依次相移90°的干涉信号，同时激光三角分系统利用部分漫反射光获得位移的粗测量数据，当激光三角测量误差小于1/4干涉位移信号周期时，通过一定的解算可以获得精确位移值。本发明测量精度高、测量范围大、抗干扰能力强，适用于微结构器件中的台阶高度，膜厚，以及运动部件的位移等的测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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