硅片线切割方法及其装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200810132919.0
IPC分类号：B24B27/06;B28D5/04
申请日期：
2008-07-01
申请人：
内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司

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著录项信息

专利名称	硅片线切割方法及其装置
申请号	CN200810132919.0	申请日期	2008-07-01
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-01-06	公开/公告号	CN101618519
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B27/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B27/00 其他磨床或装置 B24B27/06 用于切断的磨床	IPC分类号	B;2;4;B;2;7;/;0;6;;;B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人	内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司	申请人地址	上海市普陀区丹巴路28弄36号旭辉世纪广场6号楼416室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海晶美电子技术有限公司	当前权利人	上海晶美电子技术有限公司
发明人	周俭
代理机构	北京元中知识产权代理有限责任公司	代理人	张聚增

摘要

本发明公开了一种硅片线切割方法及其装置，通过一根钢丝来回顺序缠绕2或4个开有线槽的导轮而形成钢丝线网，对硅单晶棒进行磨削加工。利用钢丝在切割过程中的磨损而直径变小的原理，对所缠绕在导轮上的钢丝线网，采用自钢丝缠绕导轮开始，按顺序逐渐加密的方法，对硅单晶棒进行磨削加工，为此，将导轮的开槽槽距改为不相等的开槽槽距，该不相等的开槽槽距是自钢线缠绕导轮开始，沿导轮的长度方向上依次减小，从而使钢丝线网的逐渐加密量补偿因钢线磨损后的直径减小而导致被切割硅片厚度的增加量，将该硅单晶棒一刀一次切割成数百个厚度完全相同的硅片，在与现有导轮开槽长度相同的条件下，相应的增加切割硅片的数量，经济效益显著。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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