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具有设定和锁存电极的MEMS开关

发明专利无效专利

申请号：
CN200580052085.7
IPC分类号：G02B26/00;B81B3/00;H01H59/00
申请日期：
2005-11-16
申请人：
IDC公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有设定和锁存电极的MEMS开关
申请号	CN200580052085.7	申请日期	2005-11-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-11-19	公开/公告号	CN101310206
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B26/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B26/00 利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通、调制（用于控制灯光顺序的照明装置的可机械操作的部分入F21V；专门用于测量光特性的装置入G01J；其光学操作随介质光学性质的改变而改变的器件或装置入G02F 1/00；光控制一般入G05D 25/00；光源的控制入H01S 3/10，H05B 37/00至H05B 43/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;2;6;/;0;0;;;B;8;1;B;3;/;0;0;;;H;0;1;H;5;9;/;0;0查看分类表>
申请人	IDC公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	高通MEMS科技公司	当前权利人	高通MEMS科技公司
发明人	克拉伦斯·徐
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	孟锐

摘要

本发明提供一种MEMS装置，其以跨越第一电极(702)和可移动材料(714)安置的电压电激活。所述装置可通过与所述第一电极分隔的锁存电极(730a、730b)而维持在激活状态。

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