首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

晶圆生产用膜的收集装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120237789.4
IPC分类号：H01L21/00
申请日期：
2011-07-07
申请人：
上海技美电子科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆生产用膜的收集装置
申请号	CN201120237789.4	申请日期	2011-07-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	上海技美电子科技有限公司	申请人地址	上海市闵行区申旺路5号E幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海技美电子科技有限公司	当前权利人	上海技美电子科技有限公司
发明人	刘永丰;张明星;牛菀漓
代理机构	上海脱颖律师事务所	代理人	李强

摘要

本实用新型公开了一种晶圆生产用膜的收集装置，其特征在于，包括可开合的夹子；驱动装置，所述驱动装置驱动夹子打开与闭合。本实用新型中的晶圆生产用膜的收集装置，可自动夹住晶圆生产用的保护膜，自动将保护膜从撕膜装置或其它装置上撕除。便于实现自动化操作，降低操作工人劳动强度，效率高。本实用新型结构简单，使用方便。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供