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一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410514152.3
IPC分类号：H01L31/18;H01L31/032
申请日期：
2014-09-29
申请人：
上海科慧太阳能技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法
申请号	CN201410514152.3	申请日期	2014-09-29
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-04	公开/公告号	CN104393096A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;3;2查看分类表>
申请人	上海科慧太阳能技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市福田区特区报业大厦1306房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安科智慧城市技术（中国）有限公司	当前权利人	安科智慧城市技术（中国）有限公司
发明人	张春江
代理机构	深圳华奇信诺专利代理事务所（普通合伙）	代理人	黄鸿华

摘要

本发明公开了一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法，其包括以下步骤：在沉积有背电极层的衬底上制备铜锌硒合金预制层；铜锌锡合金预制层在具有硫源及硒源的惰性气氛环境下进行热处理，得到铜锌锡硫硒薄膜材料。采用上述方案，本发明采用同步硫化、硒化法，工艺流程简单，材料均匀性好，能实现铜锌锡硫硒薄膜材料的元素组分精确控制，禁带宽度可调，具有很高的市场应用价值。

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