一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921382922.8
IPC分类号：B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
申请日期：
2019-08-23
申请人：
盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

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著录项信息

专利名称	一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置
申请号	CN201921382922.8	申请日期	2019-08-23
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司	申请人地址	江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盐城阿特斯阳光能源科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司	当前权利人	盐城阿特斯阳光能源科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司
发明人	易书令;马晓林;潘岳林;姜大俊;潘励刚;郑旭然
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型公开了一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置，该链式硅片清洗槽包括主水槽、运输滚轮、第一赶液轮和喷淋机构。运输滚轮位于主水槽上方，运输滚轮被配置为驱动硅片运动，第一赶液轮设在主水槽沿硅片运输方向的末端上方，第一赶液轮被配置为将硅片上的液体赶入主水槽内，喷淋机构被配置为朝向硅片喷射清洗液。该链式硅片清洗槽，由于第一赶液轮可将附着在硅片上的液体赶入主水槽内，降低了硅片被清洗完毕时其上附着的清洗液含量，从而降低了对后续工艺槽的影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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