用于频移干涉测量的相位分辨测量

发明专利有效专利

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于频移干涉测量的相位分辨测量
申请号	CN200580031402.7	申请日期	2005-09-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-08-22	公开/公告号	CN101023318
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	康宁股份有限公司	申请人地址	美国纽约州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	康宁股份有限公司	当前权利人	康宁股份有限公司
发明人	A·W·库拉维科;J·C·马龙;D·G·麦克莱恩斯;M·J·特罗诺朗格
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	李玲

摘要

一种频移干涉仪从在不同测量光束频率下产生的一组干涉图案中采集强度数据。在测量光束频率的相应范围上将周期函数与从干涉图案集合中采集的强度数据相匹配。涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局域相关用于提供用对应于干涉光束部分之间的光程长度差的测量光束频率对相位变化速率的确定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供