缺陷检查系统及缺陷检查方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200980133544.2
IPC分类号：G01N21/958
申请日期：
2009-07-28
申请人：
旭硝子株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	缺陷检查系统及缺陷检查方法
申请号	CN200980133544.2	申请日期	2009-07-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-07-20	公开/公告号	CN102132148A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/958 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/958 检测透明材料〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;8查看分类表>
申请人	旭硝子株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	AGC,株式会社	当前权利人	AGC,株式会社
发明人	金子静则;夜久昌司;儿玉孝太郎
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	高培培;车文

摘要

对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。

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