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制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880011399.6
  • IPC分类号:B08B3/00;B08B3/02;B05B3/02;B05B7/00
  • 申请日期:
    2008-04-01
  • 申请人:
    杜尔艾科克林有限公司
著录项信息
专利名称制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置
申请号CN200880011399.6申请日期2008-04-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-02-17公开/公告号CN101652192
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/00IPC分类号B;0;8;B;3;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;5;B;3;/;0;2;;;B;0;5;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人杜尔艾科克林有限公司申请人地址
德国菲尔德施塔特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人埃克科林有限公司当前权利人埃克科林有限公司
发明人埃贡·卡斯克
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人邹璐;樊卫民
摘要
为了提高制备清洁介质的方法的效率,建议,将清洁气体尤其是空气引入存储器(6)中,并且将加压的清洁液体(38)引入存储器中,用来对处于初始压力之下的清洁气体进行加压。此外还建议了一种对工件进行清洁的方法以及清洁装置。

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