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一种靶材贴合装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022777400.7
  • IPC分类号:B32B37/00;B32B37/10;B32B38/00
  • 申请日期:
    2020-11-26
  • 申请人:
    河南东微电子材料有限公司
著录项信息
专利名称一种靶材贴合装置
申请号CN202022777400.7申请日期2020-11-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B32B37/00IPC分类号B;3;2;B;3;7;/;0;0;;;B;3;2;B;3;7;/;1;0;;;B;3;2;B;3;8;/;0;0查看分类表>
申请人河南东微电子材料有限公司申请人地址
河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河南东微电子材料有限公司当前权利人河南东微电子材料有限公司
发明人王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军
代理机构郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人关璐琪
摘要
本实用新型公开了一种靶材贴合装置,包括第一机架,两个第一机架的顶端固定连接有同一个固定座,所述固定座的顶端开设有滤料槽,所述滤料槽中固定连接有加热板,所述加热板的顶端设置有靶拖,所述靶拖的顶端设置有靶材,所述靶拖和靶材之间涂有易熔金属涂层,所述固定座的顶端固定连接有第二机架。本实用新型通过设置第一气缸、刮架和刮板,当靶材与靶拖之间完全牢固后,启动第一气缸,第一气缸的输出端带动刮架下移,刮架上的多个刮板将靶材和靶拖缝隙处溢出的易熔金属液刮除,刮除后的易熔金属液从滤料孔落到收集盒中进行收集,从而避免人工手动进行刮除,大大提高刮除效率,使用更加安全。

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