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等离子体工艺设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310705680.2
  • IPC分类号:H01J37/32
  • 申请日期:
    2013-12-19
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称等离子体工艺设备
申请号CN201310705680.2申请日期2013-12-19
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-06-24公开/公告号CN104733275A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J37/32IPC分类号H01J37/32查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人张彦召;张璐;陈鹏;韦刚
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人陈振
摘要
本发明涉及一种等离子体工艺设备,包括腔室、上电极、下电极、绝缘环与金属环;所述绝缘环围绕在工艺过程中置于所述下电极的上表面上的基片与所述下电极的周围;所述金属环围绕在所述绝缘环的周围,所述金属环接地,达到减弱工艺过程中边缘效应的影响。

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