正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010522556.9
IPC分类号：G03F7/075;G03F7/00
申请日期：
2010-10-20
申请人：
JSR株式会社

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专利名称	正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法
申请号	CN201010522556.9	申请日期	2010-10-20
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-05-04	公开/公告号	CN102043339A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/075 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/075 含硅的化合物〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;7;5;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	JSR株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	JSR株式会社	当前权利人	JSR株式会社
发明人	一户大吾;花村政晓
代理机构	北京三幸商标专利事务所	代理人	刘激扬

摘要

本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法。目的在于提供一种正型放射线敏感性树脂组合物，其即使用狭缝涂布法作为涂布方法时，也能显示优良的涂布性乃至膜厚均匀性，且能缩短涂布膜的干燥时间，放射线敏感度等也优良。本发明的正型放射线敏感性树脂组合物含有[A]硅氧烷聚合物、[B]醌二叠氮基化合物和[C]式(1)表示的溶剂，式(1)中，R1和R2分别独立地表示碳原子数为1～6的直链状或支链状的烷基，R1和R2的任何之一为碳原子数为1～4时，另一个碳原子数为5或6。R1-O-R2(1)。

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