光罩设备及制作光固化产品的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610416301.1
IPC分类号：G02F1/13;G02F1/1339
申请日期：
2016-06-14
申请人：
深圳市华星光电技术有限公司

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著录项信息

专利名称	光罩设备及制作光固化产品的方法
申请号	CN201610416301.1	申请日期	2016-06-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-24	公开/公告号	CN105892111A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;9查看分类表>
申请人	深圳市华星光电技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市华星光电技术有限公司	当前权利人	深圳市华星光电技术有限公司
发明人	项小群
代理机构	深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	钟子敏

摘要

本发明公开了一种光罩设备，包括：可控平板光阀及驱动电路，其中，可控平板光阀包括基板、对应光罩图案的多个电极以及多个开关，多个电极设置于基板上，每个开关连接驱动电路及至少一个电极，驱动电路输出控制信号至开关以打开或关闭开关，在打开开关时，通过开关输出驱动信号至电极，进而控制电极对应区域的光阀通过光线与否，在可控平板光阀上形成至少两种遮光或透光图案。本发明还提供了一种使用光罩设备制作光固化产品的方法，根据不同待固化产品的尺寸选择光罩设备上相对应的开关及电极，形成不同尺寸的遮光或透光图案，通过这种方式，减少了遮光设备的使用数量、降低了人力和时间、提高了工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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