用于半导体试验装置的处理机的恒温槽

发明专利无效专利

申请号：
CN96111871.7
IPC分类号：--
申请日期：
1996-08-27
申请人：
株式会社爱德万测试

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著录项信息

专利名称	用于半导体试验装置的处理机的恒温槽
申请号	CN96111871.7	申请日期	1996-08-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1998-03-04	公开/公告号	CN1175088
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社爱德万测试	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社爱德万测试	当前权利人	株式会社爱德万测试
发明人	福本庆一
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	杨梧

摘要

一种恒温槽，设在IC试验装置所用的处理机内，可在短时间内将半导体元件均匀地预加热到设定温度。它包括：回转台、加热器、轴流风扇、圆筒状整流体。上述整流体对轴流风扇产生的气流进行整流，不会发生紊流，形成以下循环流路，即从轴流风扇通过回转台后，在该回转台的下表面与恒温槽的底面绝热壁之间向外侧流动，并螺旋状地上升，然后通过加热器并返回到轴流风扇。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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