样件镜面反射率的测量

发明专利有效专利

申请号：
CN02807828.4
IPC分类号：--
申请日期：
2002-03-28
申请人：
美国瓦里安澳大利亚有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	样件镜面反射率的测量
申请号	CN02807828.4	申请日期	2002-03-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-26	公开/公告号	CN1500209
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	美国瓦里安澳大利亚有限公司	申请人地址	澳大利亚维多利亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安捷伦科技澳大利亚有限公司	当前权利人	安捷伦科技澳大利亚有限公司
发明人	M·R·哈默;R·J·弗朗西斯
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	吴明华

摘要

本发明涉及一种用于检测样件(22)的绝对镜面反射率的装置(10)，它包括：一样件支承架(12)，一用来将一入射光束(16)发射到一样件(22)表面上的光源(18)，以及一用来检测入射光线的镜面反射分量的检测器(26)。该光源(18)、样件支承架(12)和检测器(26)被安装和可操作地相连成相对可动，以改变光线(16)入射到样件(22)上的入射角，并相应地自动改变检测器(26)的相对位置，以使反射角与入射角相等。在无样件(22)或将样件拆下样件支承(12)架时，光线(16)直接照射到检测器(26)上，以能直接测量出作为基准测量的光线(16)的绝对强度。这就可免去使用诸如镜子等的中间光学元件，这种镜子之类的中间光学元件会随时间推移而性能变差。这样还可使装置更加简化些。

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