激光光源装置和检查装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201880085224.3
IPC分类号：G02B27/48;G01N21/956;H01L21/66;H01S3/10;G03B21/14
申请日期：
2018-12-26
申请人：
东丽工程株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	激光光源装置和检查装置
申请号	CN201880085224.3	申请日期	2018-12-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-08-25	公开/公告号	CN111587395A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B27/48 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B27/00 其他光学系统；其他光学仪器（使商店橱窗或陈列柜产生特别光学效果的装置入A47F，例如，A47F 11/06；光学玩具入A63H 33/22；以具有特殊光学效果为特征的设计或图样入B44F 1/00） G02B27/48 激光斑纹光学（全息照相中的斑纹消除入G03H 1/32）〔3〕	IPC分类号	G;0;2;B;2;7;/;4;8;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;S;3;/;1;0;;;G;0;3;B;2;1;/;1;4查看分类表>
申请人	东丽工程株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东丽工程株式会社	当前权利人	东丽工程株式会社
发明人	村田浩之;大久保宪治;石川直道
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。

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