聚焦环及其工作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611012477.7
IPC分类号：C23C14/34;H01J37/32
申请日期：
2016-11-17
申请人：
宁波江丰电子材料股份有限公司

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专利名称	聚焦环及其工作方法
申请号	CN201611012477.7	申请日期	2016-11-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-05-25	公开/公告号	CN108070833A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料股份有限公司	申请人地址	浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	徐文欣;吴敏

摘要

本发明提供一种聚焦环及其工作方法，其中，聚焦环包括：环体，所述环体包括相对的第一面和第二面、以及位于第一面和第二面之间的第一柱面和第二柱面，且所述第一柱面和第二柱面的两侧分别与第一面和第二面连接，所述第一柱面和第二柱面的母线平行；位于所述环体中的开口，所述开口自第一面延伸至第二面，且所述开口自第一柱面贯穿至第二柱面；所述环体在垂直于所述第一柱面或第二柱面母线的平面内具有环体投影图形，且所述环体投影为封闭环形。所述环体投影为封闭环形，则当分别在所述开口侧壁施加不同电位时，能够使所述聚焦环中的电流产生的电磁场分布较均匀。因此，通过所述聚焦环形成的薄膜厚度较均匀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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