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晶圆级封装方法及其封装结构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710154710.X
  • IPC分类号:H01L23/31;H01L21/78;H01L21/56
  • 申请日期:
    2007-09-13
  • 申请人:
    海华科技股份有限公司
著录项信息
专利名称晶圆级封装方法及其封装结构
申请号CN200710154710.X申请日期2007-09-13
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2009-03-18公开/公告号CN101388367
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/31IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人海华科技股份有限公司申请人地址
中国台湾台北县新店市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人海华科技股份有限公司当前权利人海华科技股份有限公司
发明人黄忠谔;李岳政
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人陈肖梅;谢丽娜
摘要
本发明涉及一种晶圆级封装方法,包括步骤:提供一未切割的模块晶圆,其包括一正面及一与该正面相对的背面,其中该正面定义有多条切割道以界定多个以硅晶圆为载板的芯片模块,如无线模块的位置;贴附一可扩胶膜于该未切割的模块晶圆的背面;沿着所述的切割道进行一切割步骤,以使所述的芯片模块相互分离;扩张该可扩胶膜,以于所述的芯片模块之间形成一具有一预定距离的第一宽度;提供一包覆材料,其可填入所述的芯片模块之间的第一宽度以形成一包覆该芯片模块正面及侧面的包覆层,由此可形成一可包覆该芯片模块侧面的封装结构,以提供芯片模块更佳的保护功能,以预防芯片模块被撞裂。

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