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一种磁控溅射箱体的冷却装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202121364148.5
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2021-06-19
  • 申请人:
    杭州云度新材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种磁控溅射箱体的冷却装置
申请号CN202121364148.5申请日期2021-06-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人杭州云度新材料科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市富阳区富春街道文居街1859号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州云度新材料科技有限公司当前权利人杭州云度新材料科技有限公司
发明人冷长志;李启炎
代理机构杭州永绎专利代理事务所(普通合伙)代理人胡英超
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射箱体的冷却装置,包括箱体,其特征在于:所述箱体上设置有冷却组件,所述冷却组件包括电机支架,安装在电机支架上的电机,与电机连接的转动轴,固定安装在转动轴一端的扇叶,所述箱体上还安装有提升组件,所述电机支架固定安装在提升组件上;本实用新型通过电机带动转动轴转动,从而带动扇叶转动进行冷却,同时通过提升组件能够带动电机和转动轴上下移动,从而能够带动转动轴和扇叶进行上下移动,从而使扇叶能够对箱体顶部和底部都进行扇动冷却,达到增加设备冷却效果的目的。

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