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气相沉积设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710505502.3
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/509
  • 申请日期:
    2017-06-28
  • 申请人:
    武汉华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称气相沉积设备
申请号CN201710505502.3申请日期2017-06-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-10-20公开/公告号CN107267961A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0;9查看分类表>
申请人武汉华星光电技术有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉华星光电技术有限公司当前权利人武汉华星光电技术有限公司
发明人刘凤举
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司代理人孙伟峰
摘要
本发明公开了一种气相沉积设备,包括腔体、第一电极、第二电极以及进气管,所述腔体上开设有进气口和排气口,所述第一电极、所述第二电极设于所述腔体内且分别接高频交流电和接地,所述第一电极设于所述进气口所在侧,所述第二电极与所述第一电极平行且相对设置;所述第一电极包括朝向所述进气口的第一开口和背向所述进气口、与所述第一开口连通的第二开口,所述进气管自所述进气口引入并连接在所述第一开口。本发明的第一电极上具有连通进气管的第一开口和喷出气体的第二开口,通过将第一电极外接高频交流电,即可将通入的气体朝第一电极与第二电极的间隙喷出,不需要额外设计喷头,减少了零部件数量,也减小了设备体积。

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