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微冲击测试设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680001560.2
  • IPC分类号:G01N3/30
  • 申请日期:
    2006-04-27
  • 申请人:
    新加坡科技研究局;伊利诺斯器械工程公司
著录项信息
专利名称微冲击测试设备
申请号CN200680001560.2申请日期2006-04-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-12-19公开/公告号CN101091109
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N3/30IPC分类号G;0;1;N;3;/;3;0查看分类表>
申请人新加坡科技研究局;伊利诺斯器械工程公司申请人地址
新加坡新加坡城 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新加坡科技研究局,伊利诺斯器械工程公司当前权利人新加坡科技研究局,伊利诺斯器械工程公司
发明人蔡国庆;王毅华;拉宙岚江二世
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人张敬强
摘要
一种微冲击测试设备,用于测量其上受到冲击的微电子样品的冲击特性。该设备包括容纳待测样品的样品架,和冲击装置。冲击装置包括冲击头、支撑部件、至少一个连接元件和第一挠性弹簧。由于第一挠性弹簧牢固地一端连接到支撑部件,另一端连接到连接元件,所以支撑部件连接到连接元件。至少基本与第一挠性弹簧相同的第二挠性弹簧牢固地一端连接到连接元件,另一端连接到冲击头,以使第一和第二挠性弹簧的端部在其未加载状态形成矩形。冲击头可相对于第一和第二挠性弹簧沿弹簧加载位置和其冲击位置之间的线性线平移移动。样品架与冲击装置对准,以使样本布置在冲击头冲击位置,使冲击头能够在从加载位置释放时沿线性线在从加载位置朝向冲击位置移动后冲击在样品上。

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